芯片内光波导环形谐振腔谐振特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·环形谐振腔国内外发展现状 | 第9-13页 |
| ·本人主要研究工作 | 第13-14页 |
| 第二章 光波导环形谐振腔基本理论分析 | 第14-40页 |
| ·光波导基本理论分析 | 第14-23页 |
| ·光的色散、散射和吸收 | 第14-16页 |
| ·波导的基本几何光学理论 | 第16-21页 |
| ·耦合模基本理论 | 第21-23页 |
| ·波导的损耗 | 第23-26页 |
| ·损耗型波导的基本参数 | 第24页 |
| ·波导的吸收损耗 | 第24-25页 |
| ·波导的辐射损耗 | 第25-26页 |
| ·环形谐振腔基本理论分析 | 第26-32页 |
| ·环形谐振腔的基本工作原理及结构 | 第26-29页 |
| ·环形谐振腔的主要性能指标 | 第29-31页 |
| ·环形谐振腔的基本用途 | 第31-32页 |
| ·硅基光波导与单模光纤的耦合问题 | 第32-34页 |
| ·端面直接耦合 | 第32-33页 |
| ·光栅垂直耦合 | 第33-34页 |
| ·光栅耦合器基本结构及原理 | 第34-39页 |
| ·多缝衍射 | 第35-36页 |
| ·衍射光栅的主要性能 | 第36-37页 |
| ·布拉格条件 | 第37-38页 |
| ·衍射光栅对光强的调控 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 环形谐振腔光学性能仿真及系统版图设计 | 第40-55页 |
| ·光束传输法(BPM) | 第40-43页 |
| ·BPM 的基本原理 | 第40-41页 |
| ·BPM 对光波导的仿真模拟 | 第41-43页 |
| ·时域有限差分方法（FDTD）仿真体系 | 第43-49页 |
| ·初始条件的设置 | 第43-44页 |
| ·环形谐振腔耦合系统重要参数数值仿真分析 | 第44-49页 |
| ·光栅耦合器的数值仿真其设计 | 第49-52页 |
| ·光栅刻蚀深度（槽深） | 第49-50页 |
| ·光栅周期 | 第50-51页 |
| ·单模光纤入射角度 | 第51-52页 |
| ·芯片结构总体版图设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 环形谐振腔结构系统芯片的制备 | 第55-65页 |
| ·SOI 基片的制备 | 第55-56页 |
| ·环形谐振腔关键制备工艺 | 第56-64页 |
| ·光刻技术 | 第57-58页 |
| ·磁控溅射工艺 | 第58-59页 |
| ·电子束曝光工艺 | 第59-63页 |
| ·感应耦合等离子体刻蚀工艺 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 环形谐振腔结构芯片性能测试 | 第65-76页 |
| ·环形谐振腔结构的测试 | 第65-69页 |
| ·测试结果 | 第69-72页 |
| ·一种基于光波导微环谐振腔的全光逻辑门 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·论文主要研究工作及创新性 | 第76-77页 |
| ·工作展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
