AZO薄膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·TCO 薄膜简介 | 第10-13页 |
| ·溅射镀膜机理 | 第13-18页 |
| ·本论文的研究内容及创新点 | 第18-19页 |
| 2 实验 | 第19-27页 |
| ·靶材的制备 | 第19-22页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第22页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-24页 |
| ·AZO 薄膜的样品参数 | 第24-25页 |
| ·薄膜试样的结构和性能表征 | 第25-27页 |
| 3 AZO 薄膜的组织结构 | 第27-41页 |
| ·ZnO 粉末的XRD 参数及相关计算公式 | 第27-29页 |
| ·基底温度对AZO 薄膜结构与形貌的影响 | 第29-34页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜结构与形貌的影响 | 第34-37页 |
| ·氧氩比对AZO 薄膜结构的影响 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 AZO 薄膜的电学特性 | 第41-53页 |
| ·AZO 薄膜的导电机理 | 第41-42页 |
| ·基底温度对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第42-44页 |
| ·溅射时间对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第44-45页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第45-46页 |
| ·靶基距对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第46-48页 |
| ·溅射气压对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第48-50页 |
| ·氧氩比对AZO 薄膜电学特性的影响 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 5 AZO 薄膜的光学特性 | 第53-70页 |
| ·AZO 薄膜的透光机制 | 第53-54页 |
| ·基底温度对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第54-56页 |
| ·溅射时间对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第56-58页 |
| ·溅射功率对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第58-61页 |
| ·靶基距对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第61-63页 |
| ·溅射气压对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第63-66页 |
| ·氧氩比对AZO 薄膜光学性质的影响 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 6 多层透明导电薄膜的研究 | 第70-77页 |
| ·缓冲层原理 | 第70页 |
| ·AZO/ ZnO 复合薄膜的性能研究 | 第70-74页 |
| ·ITO/ AZO 复合薄膜的性能研究 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 7 结论 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
