| 第一章 绪 论 | 第1-19页 |
| 1．1 光电位置敏感探测器概述 | 第10-11页 |
| 1．2 PSD研究发展历史及状况 | 第11-14页 |
| 1．3 本文选题依据 | 第14页 |
| 1．4 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 参考文献 | 第15-19页 |
| 第二章 位置敏感探测器理论 | 第19-50页 |
| 2．1 半导体的光吸收和光电效应 | 第19-24页 |
| 2．1．1 半导体的光吸收 | 第19-20页 |
| 2．1．2 p-n结中的光电转换和纵向光电效应 | 第20-22页 |
| 2．1．3 p-n结中的横向光电效应 | 第22-24页 |
| 2．2 PSD方程——Lucovusky方程的推导 | 第24-25页 |
| 2．3 不同边界和条件下Lucovusky方程的解及其意义 | 第25-38页 |
| 2．3．1 完全反偏条件下的解 | 第25-34页 |
| 2．3．2 非完全反偏条件下的解 | 第34-37页 |
| 2．3．3 小结 | 第37-38页 |
| 2．4 PSD的RC传输线模型近似理论 | 第38-39页 |
| 2．5 PSD的性能参数及其影响因素 | 第39-48页 |
| 2．5．1 响应时间 | 第40页 |
| 2．5．2 响应灵敏度 光谱响应 | 第40-44页 |
| 2．5．3 位置误差 线性度 | 第44-47页 |
| 2．5．4 位置分辨率 | 第47-48页 |
| 2．6 小结 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-50页 |
| 第三章 梳状结构一维PSD（原理 设计 制作工艺及性能测试） | 第50-70页 |
| 3．1 块状结构一维PSD的改进 | 第50-51页 |
| 3．2 梳状结构一维PSD的结构及工作原理 | 第51-54页 |
| 3．2．1 梳状结构一维PSD的结构 | 第51页 |
| 3．2．2 梳状结构一维PSD的工作原理 | 第51-54页 |
| 3．3 梳状结构一维PSD的设计和制作工艺 | 第54-64页 |
| 3．3．1 梳状结构一维PSD设计 | 第54-55页 |
| 3．3．2 梳状结构一维PSD制作工艺 | 第55-64页 |
| 3．4 性能测试与分析 | 第64-67页 |
| 3．5 梳状PSD与块状PSD的线性度对照实验及结果分析 | 第67-69页 |
| 3．6 小结 | 第69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第四章 二维PSD的研究 | 第70-98页 |
| 4．1 二维PSD的几种结构 | 第70-71页 |
| 4．2 不同结构二维PSD的性能比较 | 第71-73页 |
| 4．3 提高四边形结构PSD线性度的研究 | 第73-88页 |
| 4．3．1 四边形结构PSD非线性分析 | 第74-78页 |
| 4．3．2 线性度测量实验与结果 | 第78-79页 |
| 4．3．3 提高四边形结构PSD线性度的研究之一——系数修正法 | 第79-86页 |
| 4．3．4 提高四边形结构PSD线性度的研究之二——开关法 | 第86-88页 |
| 4．4 直角形电极结构PSD和带电阻边框的方形结构PSD的电流—位置特性 | 第88-91页 |
| 4．4．1 直角形电极结构PSD的电流—位置输出特性 | 第88-89页 |
| 4．4．2 方形结构PSD的电流—位置输出特性 | 第89-91页 |
| 4．5 枕形结构PSD的设计和制作 | 第91-96页 |
| 4．5．1 Gear定理及其证明 | 第91-92页 |
| 4．5．2 枕形结构PSD的设计和制作工艺 | 第92-96页 |
| 4．6 小结 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-98页 |
| 第五章 PSD的结构对其线性度的影响—数值计算 | 第98-115页 |
| 5．1 引言 | 第98-99页 |
| 5．2 PSD的数学模型 | 第99-100页 |
| 5．3 有限元法求解的基本过程 | 第100-103页 |
| 5．4 带电阻边框的方形结构PSD和枕形结构PSD的有限元计算 | 第103-110页 |
| 5．5 四边形结构PSD和一维PSD的有限元计算 | 第110-113页 |
| 5．6 小结 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-115页 |
| 第六章 PSD信号处理技术研究 | 第115-126页 |
| 6．1 最基本的PSD信号处理方法 | 第115-116页 |
| 6．2 消除背景和暗电流的几种措施 | 第116-118页 |
| 6．3 PSD及前置放大器的噪声分析和计算 | 第118-122页 |
| 6．4 基于单片机的PSD信号处理系统设计 | 第122-125页 |
| 6．5 小结 | 第125页 |
| 参考文献 | 第125-126页 |
| 第七章 PSD的应用研究 | 第126-138页 |
| 7．1 PSD应用原理及其应用实例 | 第126-131页 |
| 7．1．1 PSD应用原理 | 第126-128页 |
| 7．1．2 PSD应用实例 | 第128-131页 |
| 7．2 基于PSD的光电数字水准仪的研究 | 第131-136页 |
| 7．2．1 设计思想和工作原理 | 第131-132页 |
| 7．2．2 系统设计 | 第132-133页 |
| 7．2．3 实验结果与误差分析 | 第133-135页 |
| 7．2．4 结论 | 第135-136页 |
| 7．3 小结 | 第136页 |
| 参考文献 | 第136-138页 |
| 第八章 全文总结 | 第138-140页 |
| 附： 博士期间发表或录用的论文 | 第140-141页 |
| 致 谢 | 第141页 |
