| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-15页 |
| (1) 空心原子模型 | 第8-9页 |
| (2) 库仑爆炸模型 | 第9-11页 |
| (3) 溅射模型 | 第11-12页 |
| (4) 级联碰撞理论 | 第12页 |
| (5) 纳米丘的形成 | 第12-15页 |
| 第一章 高电荷态离子源简介 | 第15-27页 |
| ·ECR 离子源原理介绍 | 第15-22页 |
| ·EBIS 及 EBIT 原理介绍 | 第22-27页 |
| 第二章 Ar 离子溅射实验研究 | 第27-37页 |
| ·中科院近代物理研究所 ECR 源实验室简介 | 第27页 |
| ·Ar~(q+)离子溅射实验 | 第27-31页 |
| ·实验装置及过程 | 第28页 |
| ·实验仪器及靶样品 | 第28-31页 |
| ·实验结果及分析 | 第31-36页 |
| ·Ar 离子轰击云母表面 | 第31-33页 |
| ·Ar 离子轰击金靶(Au)表面 | 第33-34页 |
| ·Ar 离子轰击铌靶(Nb)表面 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 Ar~(q+)在 HOPG 和 Au 上产生的纳米结构研究 | 第37-57页 |
| ·日本山崎原子物理实验室简介 | 第37页 |
| ·Ar~(q+)离子辐照实验 | 第37-47页 |
| ·实验过程 | 第37-38页 |
| ·实验仪器 | 第38-43页 |
| ·靶样品的制备 | 第43-47页 |
| ·HOPG 样品实验结果及分析 | 第47-56页 |
| ·HOPG 样品图片(从横纵两个方向测量) | 第47-49页 |
| ·处理后数据 | 第49-50页 |
| ·各能量纳米点横向尺寸与高度分布 | 第50-53页 |
| ·动能、电荷态对纳米点形成的影响 | 第53-56页 |
| ·Au 样品的实验结果 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 总结与展望 | 第57-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63页 |