| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·激光标刻概况 | 第7-8页 |
| ·激光标刻系统 | 第8-9页 |
| ·激光标刻方式 | 第9-11页 |
| ·激光标刻软件功能介绍 | 第11-12页 |
| ·本课题的目的、意义和研究内容 | 第12-14页 |
| 2 振镜式激光标刻研究 | 第14-23页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·振镜特性分析 | 第14-16页 |
| ·激光标刻误差分析 | 第16-19页 |
| ·误差修正方法的研究 | 第19-23页 |
| 3 功率适时控制模型建立 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·轮廓修正方案 | 第23-24页 |
| ·控制参数分析 | 第24-26页 |
| ·功率适时控制模型提出 | 第26-33页 |
| 4 控制系统实现 | 第33-43页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·有速度反馈的控制系统实现 | 第33-37页 |
| ·无速度反馈的控制系统实现 | 第37-43页 |
| 5 控制系统性能分析 | 第43-50页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·响应时间分析 | 第43-44页 |
| ·能量分布数值仿真 | 第44-50页 |
| 6 结论 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第56页 |