飞秒激光改性玻璃微结构的化学腐蚀特性研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
1 绪论	第9-19页
·飞秒激光微加工技术发展状况	第9-15页
·飞秒激光改性-化学腐蚀技术的研究现状	第15-17页
·课题的研究目的、意义及主要内容	第17-19页
·课题的研究目的和意义	第17-18页
·论文的主要内容	第18-19页
2 实验介绍	第19-25页
·实验材料	第19-22页
·石英玻璃的结构及性质	第19-21页
·Pb 硅酸盐玻璃的结构及性质	第21页
·碲酸盐玻璃的结构及性质	第21-22页
·飞秒激光微加工系统	第22-24页
·实验步骤	第24-25页
3 飞秒激光烧蚀玻璃的研究	第25-37页
·超短脉冲激光对透明材料烧蚀机理的研究	第25-28页
·飞秒激光单脉冲烧蚀玻璃	第28-34页
·损伤阈值	第29-30页
·烧蚀面积与激光脉冲能量的关系	第30-32页
·烧蚀形貌观察	第32-34页
·飞秒激光多脉冲烧蚀玻璃	第34-37页
·烧蚀面积和脉冲数量的关系	第34-35页
·烧蚀形貌观察	第35-37页
4 飞秒激光改性玻璃微结构的化学腐蚀特性研究	第37-46页
·玻璃的未改性区域腐蚀速率	第37-38页
·玻璃的改性区域腐蚀速率	第38-41页
·石英玻璃的选择性腐蚀性质	第38-39页
·碲酸盐玻璃和Pb 硅酸盐玻璃的选择性腐蚀性质	第39页
·讨论与分析	第39-41页
·改性腐蚀后的微观结构与形貌	第41-42页
·单脉冲烧蚀腐蚀后的微观结构与形貌	第41页
·多脉冲烧蚀腐蚀后的微观结构与形貌	第41-42页
·石英玻璃微结构的热处理研究	第42-46页
·石英玻璃热学性能	第42-43页
·实验介绍	第43-44页
·实验结果与讨论	第44-46页
5 总结	第46-47页
致谢	第47-48页
参考文献	第48-53页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录	第53页