| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 引言 | 第8-15页 |
| ·燃料电池 | 第8页 |
| ·固体氧化物燃料电池(SOFC) | 第8-10页 |
| ·SOFC的主要组成部分 | 第10页 |
| ·SOFC电解质材料 | 第10-13页 |
| ·ZrO_2基电解质 | 第11页 |
| ·CeO_2基电解质 | 第11-13页 |
| ·电解质的制备方法 | 第13-15页 |
| 2 薄膜制备及表征方法 | 第15-26页 |
| ·薄膜制备 | 第15-22页 |
| ·实验设备 | 第15-16页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第16-19页 |
| ·靶的制备 | 第19-20页 |
| ·基片处理 | 第20页 |
| ·溅射镀膜 | 第20页 |
| ·电极样品的制备 | 第20-22页 |
| ·薄膜分析方法 | 第22-26页 |
| ·台阶仪 | 第22-23页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第23-24页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第24-26页 |
| 3 基片温度对GDC电解质薄膜结构及生长形貌的影响 | 第26-31页 |
| ·基片温度对薄膜物相结构的影响 | 第27-28页 |
| ·基片温度对薄膜生长形貌的影响 | 第28-31页 |
| 4 基片温度对薄膜电学性质的影响 | 第31-37页 |
| ·固体微结构"砖层模型" | 第31-33页 |
| ·薄膜电学性质 | 第33-37页 |
| 结论 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第40-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |