面向MEMS设计的微流体流动特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·MEMS技术进展 | 第14-19页 |
| ·加工材料和工艺 | 第16-17页 |
| ·封装和测试技术 | 第17-18页 |
| ·技术应用 | 第18-19页 |
| ·微流体技术发展与现状 | 第19-24页 |
| ·微流体装置及组件 | 第19-22页 |
| ·微流体系统 | 第22-24页 |
| ·微尺度流体的流动特性 | 第24-25页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第25-26页 |
| ·本文的主要内容 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第二章 微流体流动机理及建模方法 | 第30-44页 |
| ·微流体的流动机理分类及建模方法 | 第30-33页 |
| ·微流体的流动机理分类 | 第30-32页 |
| ·微流体流动建模方法 | 第32-33页 |
| ·连续介质模型 | 第33-36页 |
| ·基本控制方程 | 第33-35页 |
| ·边界条件 | 第35页 |
| ·求解方法 | 第35-36页 |
| ·基于分子的建模方法 | 第36-39页 |
| ·分子动力学模拟 | 第36-38页 |
| ·Boltzmann方程 | 第38页 |
| ·MC和DSMC方法 | 第38-39页 |
| ·IP方法 | 第39页 |
| ·介观模拟方法 | 第39-41页 |
| ·格子气自动机 | 第40页 |
| ·格子Boltzmann方法 | 第40页 |
| ·耗散粒子动力学 | 第40-41页 |
| ·介观动力学 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第三章 微流体的滑流特性分析 | 第44-68页 |
| ·滑流边界条件 | 第44-46页 |
| ·一阶滑流边界条件 | 第44-45页 |
| ·二阶及高阶滑流边界条件 | 第45-46页 |
| ·滑流区中典型截面的层流流动分析 | 第46-58页 |
| ·压差流动 | 第46-55页 |
| ·剪切流动 | 第55-58页 |
| ·滑流区中压差流的粘度修正方法 | 第58-66页 |
| ·微缝隙流动 | 第58-59页 |
| ·微圆管流动 | 第59-61页 |
| ·微矩形通道流动 | 第61-65页 |
| ·微同心环管道流动 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第四章 微流体对微结构的阻尼特性研究 | 第68-106页 |
| ·微尺度阻尼概述 | 第68-69页 |
| ·微尺度滑流的压膜阻尼 | 第69-79页 |
| ·传统雷诺方程 | 第69-71页 |
| ·双动量协调系数修正的雷诺方程 | 第71-73页 |
| ·修正雷诺方程的分析 | 第73-79页 |
| ·不可压缩压膜阻尼特性研究 | 第79-84页 |
| ·矩形长板的压膜阻尼 | 第79-80页 |
| ·矩形平板的压膜阻尼 | 第80-81页 |
| ·圆形平板的压膜阻尼 | 第81-82页 |
| ·环形平板的压膜阻尼 | 第82-83页 |
| ·非平动矩形长板的压膜阻尼 | 第83-84页 |
| ·考虑气体可压缩性的压膜阻尼 | 第84-95页 |
| ·矩形长板的平动 | 第85-86页 |
| ·矩形平板的平动 | 第86-89页 |
| ·圆形平板的平动 | 第89-91页 |
| ·矩形平板的转动 | 第91-95页 |
| ·滑膜阻尼 | 第95-102页 |
| ·Couette流动 | 第96页 |
| ·Stokes流动 | 第96-100页 |
| ·Poiseuille流动 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-106页 |
| 第五章 MEMS器件中的气膜阻尼特性研究 | 第106-146页 |
| ·电容式加速度计气膜阻尼分析 | 第106-110页 |
| ·气体阻尼分析 | 第106-109页 |
| ·实例计算及分析 | 第109-110页 |
| ·通孔平板的阻尼特性分析 | 第110-119页 |
| ·中心开孔圆盘的阻尼特性 | 第110-115页 |
| ·多通孔平板的阻尼特性 | 第115-119页 |
| ·微加速度计动态阻尼特性分析 | 第119-125页 |
| ·微加速度计动态模型 | 第120-122页 |
| ·动态阻尼响应分析 | 第122-125页 |
| ·微梁动态阻尼特性分析 | 第125-137页 |
| ·梁的横向振动 | 第125-126页 |
| ·微梁的动态耦合问题 | 第126页 |
| ·挠度远小于气膜厚度情况 | 第126-132页 |
| ·挠度与气膜厚度相当情况 | 第132-137页 |
| ·横向振动微结构的动态阻尼特性分析 | 第137-141页 |
| ·系统动态模型 | 第138页 |
| ·拖曳力 | 第138-140页 |
| ·实例分析 | 第140-141页 |
| ·本章小结 | 第141-142页 |
| 参考文献 | 第142-146页 |
| 第六章 超薄气膜润滑问题研究 | 第146-156页 |
| ·原有模型概述 | 第146-149页 |
| ·一阶滑流模型 | 第147页 |
| ·二阶滑流模型 | 第147-148页 |
| ·1.5阶滑流模型 | 第148-149页 |
| ·三可调参数模型的提出与分析 | 第149-154页 |
| ·模型的构造 | 第149-150页 |
| ·可调参数的确定 | 第150-151页 |
| ·雷诺方程的推导 | 第151-152页 |
| ·实例计算与分析 | 第152-154页 |
| ·本章小结 | 第154页 |
| 参考文献 | 第154-156页 |
| 第七章 全文总结 | 第156-159页 |
| ·本文主要工作和研究结论 | 第156-157页 |
| ·本文工作的主要创新点 | 第157-158页 |
| ·有待进一步研究的问题 | 第158-159页 |
| 致谢 | 第159-160页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及相关研究成果 | 第160-164页 |
| 附录Ⅰ-1 | 第164页 |
| 附录Ⅰ-2 | 第164-168页 |
| 附录Ⅱ-1 | 第168-169页 |
| 附录Ⅱ-2 | 第169-170页 |
| 附录Ⅱ-3 | 第170页 |
| 附录Ⅱ-4 | 第170-172页 |
| 附录Ⅱ-5 | 第172页 |
