用于硅薄膜太阳电池的绒面ZnO透明导电膜的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·太阳电池 | 第9-14页 |
| ·光伏发展现状与硅薄膜电池发展机遇 | 第9-10页 |
| ·硅薄膜电池的优势 | 第10-11页 |
| ·硅薄膜电池发展现状与面临的挑战 | 第11-13页 |
| ·硅薄膜电池发展前景 | 第13-14页 |
| ·透明导电氧化物薄膜 | 第14-16页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第14-15页 |
| ·透明导电氧化物薄膜的种类及特点 | 第15-16页 |
| ·ZnO:Al 透明导电薄膜 | 第16-19页 |
| ·ZnO:Al 薄膜概述 | 第16-17页 |
| ·ZnO:Al 薄膜的特性以及掺杂原理 | 第17-19页 |
| ·绒面ZnO:Al薄膜 | 第19-20页 |
| ·问题的提出 | 第20-21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 太阳电池基础与薄膜性能测试仪器 | 第22-44页 |
| ·太阳电池工作原理 | 第22-31页 |
| ·pn 结光伏效应的物理基础 | 第22-23页 |
| ·等效电路和光电转换效率 | 第23-25页 |
| ·光电流 | 第25-28页 |
| ·光谱响应和辐射效应 | 第28-30页 |
| ·非晶硅电池工作原理 | 第30-31页 |
| ·硅薄膜太阳电池的制备工艺及实验设备 | 第31-33页 |
| ·制备工艺 | 第31-33页 |
| ·实验设备 | 第33页 |
| ·ZnO:Al 薄膜的制备工艺及实验设备 | 第33-40页 |
| ·制备工艺 | 第33-39页 |
| ·实验设备 | 第39-40页 |
| ·薄膜性能测试仪器 | 第40-44页 |
| ·椭偏测试仪 | 第40-41页 |
| ·分光光度计 | 第41-42页 |
| ·霍尔测试仪 | 第42-43页 |
| ·X-ray 衍射仪 | 第43页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第43-44页 |
| 3 平面ZnO:Al薄膜的制备及分析 | 第44-60页 |
| ·平面ZnO:Al薄膜的制备 | 第44页 |
| ·沉积工艺对ZnO:Al 薄膜性能的影响分析 | 第44-58页 |
| ·衬底温度对ZnO:Al 薄膜性能的影响分析 | 第45-50页 |
| ·溅射功率对ZnO:Al薄膜性能的影响分析 | 第50-54页 |
| ·工作压力对ZnO:Al薄膜性能的影响分析 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 4 绒面ZnO:Al薄膜的制备及分析 | 第60-72页 |
| ·制备绒面ZnO:Al薄膜的方法 | 第60-62页 |
| ·高温高压纯Ar直接溅射法 | 第60-61页 |
| ·H_2O－Ar 混合气直接溅射法 | 第61-62页 |
| ·溅射后腐蚀法 | 第62页 |
| ·绒面ZnO:Al薄膜的制备 | 第62页 |
| ·沉积工艺对薄膜绒面效果的影响分析 | 第62-70页 |
| ·衬底温度对薄膜绒面效果的影响分析 | 第63-65页 |
| ·溅射功率对薄膜绒面效果的影响分析 | 第65-66页 |
| ·工作压力对薄膜绒面效果的影响分析 | 第66-68页 |
| ·溶液浓度对薄膜绒面效果的影响分析 | 第68-69页 |
| ·腐蚀时间对薄膜绒面效果的影响分析 | 第69-70页 |
| ·两种绒面ZnO:Al薄膜的比较 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 5 结论 | 第72-74页 |
| ·本文总结 | 第72页 |
| ·本文的主要创新点及不足 | 第72-73页 |
| ·成果应用前景展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参与的科研项目 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
