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激光微细熔覆快速制造厚膜无源元件关键技术的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-13页
1 绪论第13-34页
   ·引言第13-15页
   ·制备厚膜无源元件的技术特点和发展概况第15-25页
     ·传统制备厚膜无源元件技术第15-17页
     ·新兴发展的制备厚膜无源元件技术-----直写技术第17-25页
   ·本课题的来源、方法、理论依据以及应用前景第25-28页
     ·本课题的来源第25页
     ·研究方法及内容第25-26页
     ·理论依据第26-27页
     ·激光微细熔覆快速制造技术的应用前景第27-28页
   ·研究目标、技术路线、技术关键及创新第28-33页
     ·研究目标第28-29页
     ·技术路线第29-31页
     ·技术关键第31-32页
     ·本课题的创新点第32-33页
   ·小结第33-34页
2 激光微细熔覆快速制造厚膜无源元件设备的设计及其制备第34-45页
   ·引言第34页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜无源元件的原理及可行性分析第34-35页
     ·制造原理第34-35页
     ·可行性分析第35页
   ·设备的设计与制备第35-44页
     ·设计思路第35-41页
     ·设备结构及制造第41-42页
     ·设备的性能指标第42-43页
     ·采用Precision Spray 系统制备的实例第43-44页
   ·小结第44-45页
3 激光微细熔覆快速制造厚膜导带图形的研究第45-71页
   ·引言第45-46页
   ·试验材料和试验方法第46-48页
     ·试验材料第46-47页
     ·试验方法及其设备第47-48页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜导带的影响因素第48-56页
     ·导电浆料特性对厚膜导带质量的影响第48-50页
     ·预置膜厚度对导带宽度、厚度和质量的影响第50-51页
     ·激光加工参数对形成导带的宽度、厚度和质量的影响第51-56页
   ·激光微细熔覆快速制造导线机理的研究第56-61页
     ·导电浆料的热分析第56-57页
     ·预置层和导线的微观形貌分析第57-59页
     ·EDS 能谱分析第59-61页
   ·导带成型机理和附着机理的研究第61-64页
     ·导带的成型机理第61-63页
     ·导带的附着机理第63-64页
   ·导电机理的探讨第64-65页
   ·导电性能的研究及其应用第65-69页
     ·导带性能的研究第65-67页
     ·激光微细熔覆快速制造导带的应用第67-69页
   ·小结第69-71页
4 激光微细熔覆快速制造厚膜电阻元件的研究第71-114页
   ·前言第71-72页
   ·试验材料和试验方法第72-74页
     ·试验材料第72-73页
     ·试验方法及设备第73-74页
   ·影响激光微细熔覆快速制造标准厚膜电阻特性的因素第74-77页
     ·方阻率第74-75页
     ·几何特性第75-76页
     ·材料第76页
     ·制备工艺第76页
     ·电阻和电极界面行为的影响第76-77页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电阻工艺的研究第77-91页
     ·电阻浆料的特性对电阻质量的影响第77-79页
     ·激光加工参数对厚膜电阻的厚度、质量和性能的影响第79-89页
     ·制备工艺对电阻膜质量的影响第89-91页
     ·不同的端头材料对电阻的质量的影响第91页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电阻机理的研究第91-99页
     ·电阻浆料的热分析第91-92页
     ·预置层、电阻膜以及电阻膜和端头界面的微观形貌第92-95页
     ·预置层、电阻膜以及电阻膜和端头界面的EDS 分析第95-99页
   ·厚膜电阻的成型机理和附着机理的研究第99-101页
   ·导电机理的探讨第101-105页
   ·厚膜电阻的性能以及应用的研究第105-112页
     ·电阻元件性能的研究第105-112页
     ·激光微细熔覆快速制造厚膜电阻元件的应用第112页
   ·小结第112-114页
5 激光微细熔覆快速制造厚膜电容元件的研究第114-145页
   ·引言第114-115页
   ·试验材料和试验方法第115-117页
     ·试验材料第115-116页
     ·试验方法及设备第116-117页
   ·影响激光微细熔覆快速制造厚膜电容器特性的因素第117-118页
     ·介质膜的厚度第117页
     ·介质膜的致密性(针孔的数量)第117页
     ·介质层的有效面积和层数第117-118页
     ·介电常数第118页
     ·电极数和电极叠加面积第118页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电容器工艺的研究第118-126页
     ·介质浆料的特性对电容器质量的影响第118-119页
     ·激光加工参数对形成介质膜厚度和质量的影响第119-126页
     ·不同的电极材料对介质膜质量影响第126页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电容机理的研究第126-135页
     ·电容介质浆料的热分析第126-127页
     ·介质膜以及介质膜和电极界面的微观形貌第127-129页
     ·介质膜以及介质膜和电极界面的EDS 分析第129-135页
   ·厚膜电容的成型机理和附着机理的研究第135-137页
   ·电容器的工作原理第137-138页
   ·厚膜电容的性能以及应用的研究第138-143页
     ·厚膜电容的性能研究第138-142页
     ·激光微细熔覆快速制造厚膜电容元件的应用第142-143页
   ·小结第143-145页
6 激光微细熔覆快速制造厚膜电感元件的研究第145-164页
   ·引言第145-147页
   ·试验材料和试验方法第147-148页
     ·试验材料第147-148页
     ·试验方法及其设备第148页
   ·影响激光微细熔覆快速制造厚膜电感特性的因素第148-149页
     ·基片材料的选择第148页
     ·匝数第148页
     ·导体膜的厚度和宽度第148-149页
     ·磁性介质膜的厚度第149页
     ·电感器的螺旋走向和形状第149页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电感器工艺的研究第149-156页
     ·磁性介质浆料的特性对所制备电感器质量的影响第149-150页
     ·预置膜厚度对磁性介质膜厚度的影响第150页
     ·激光加工参数对磁性介质膜厚度和质量的影响第150-155页
     ·磁性介质膜上制备导线参数研究第155-156页
   ·微观分析和能谱分析第156-158页
     ·磁性介质膜的微观分析第156-157页
     ·磁性介质膜的X 射线探针分析第157-158页
   ·激光微细熔覆磁性介质膜的成膜机理和附着机理第158-159页
     ·磁性介质浆料的热分析第158-159页
     ·磁性介质膜的成膜机理和附着机理第159页
   ·激光微细熔覆快速制造厚膜电感性能的研究及其应用第159-162页
     ·激光微细熔覆快速制造厚膜电感性能的研究第159-161页
     ·激光微细熔覆快速制造厚膜电感的应用第161-162页
   ·小结第162-164页
7 总结和展望第164-167页
   ·主要结论第164-165页
   ·问题和展望第165-167页
致谢第167-169页
参考文献第169-177页
附录1 攻读博士学位期间发表论文目录第177-179页
 一、攻读博士学位期间所发表(含已录用)的论文第177-178页
 二、攻读博士学位期间目前已投稿的论文第178-179页
附录2 攻读博士学位期间相关成果和专利第179页

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