TPS外表层ZrO2功能涂层的EB-PVD工艺方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·陶瓷涂层材料的选择及制备技术 | 第10-14页 |
| ·涂层材料的选择 | 第10-12页 |
| ·EB-PVD制备技术 | 第12-14页 |
| ·薄膜的生长 | 第14-15页 |
| ·表面形核与生长 | 第14-15页 |
| ·薄膜的生长 | 第15页 |
| ·EB-PVD涂层中的内应力 | 第15-17页 |
| ·内应力的分类及与结构的关系 | 第15-16页 |
| ·涂层内应力的测量方法 | 第16-17页 |
| ·本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 ZrO_2涂层的制备及试验方法 | 第18-23页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·电子束物理气相沉积(EB-PVD)设备的简介 | 第18-19页 |
| ·EB-PVD氧化锆涂层的制备过程 | 第19-20页 |
| ·涂层制备方案设计 | 第20-21页 |
| ·蒸发源材料 | 第20页 |
| ·涂层制备工艺参数的确定 | 第20-21页 |
| ·研究方法 | 第21-23页 |
| ·X射线衍射分析 | 第21页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第21页 |
| ·原子力显微镜观察 | 第21-22页 |
| ·显微组织扫描电子显微镜观察 | 第22页 |
| ·涂层纳米硬度的测定 | 第22页 |
| ·涂层的抗热震性能试验 | 第22页 |
| ·涂层热辐射特性试验 | 第22-23页 |
| 第3章 EB-PVD沉积ZrO_2涂层结构分析 | 第23-35页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·涂层的物相分析 | 第24-26页 |
| ·XRD试验结果 | 第24-25页 |
| ·基体温度对涂层结晶的影响 | 第25-26页 |
| ·涂层的形貌观察 | 第26-31页 |
| ·涂层表面XPS分析 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 ZrO_2涂层残余应力分析 | 第35-44页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·涂层残余应力的掠入射测量方法 | 第35-37页 |
| ·残余应力测试结果 | 第37-39页 |
| ·热残余应力的计算 | 第39-42页 |
| ·计算模型 | 第39-41页 |
| ·计算结果及分析 | 第41-42页 |
| ·本章小节 | 第42-44页 |
| 第5章 ZrO_2涂层的性能研究 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·涂层的力学性能 | 第44-48页 |
| ·涂层力学性能表征和评价 | 第44-45页 |
| ·涂层弹性模量和硬度的测定 | 第45-48页 |
| ·涂层的抗热震性能 | 第48-52页 |
| ·抗热震性能试验 | 第49-50页 |
| ·涂层热弹性形变应力 | 第50-52页 |
| ·热应力引起涂层产生裂纹 | 第52页 |
| ·涂层热辐射性能 | 第52-58页 |
| ·热辐射在热防护系统中的作用 | 第52-53页 |
| ·涂层表面热发射率定性比较 | 第53-55页 |
| ·热发射率的测量 | 第55-56页 |
| ·影响材料热辐射性能的因素 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65-66页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第66页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第66-67页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
