电化学原子层外延制备纳米薄膜热电材料的研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
1 绪论	第9-27页
·热电材料研究现状及分析	第9-16页
·电化学原子层外延	第16-22页
·ECALE 自动沉积系统	第22-24页
·课题来源、研究意义、技术路线	第24-27页
2 碲化锑薄膜在PT 衬底上的ECALE 沉积	第27-39页
·引言	第27页
·实验过程	第27-28页
·TE 的电化学特性	第28-31页
·SB 在PT 电极表面的电化学伏安特性	第31-32页
·SB_2TE_3 薄膜的ECALE 沉积	第32-34页
·SB_2TE_3 薄膜结构与形貌分析	第34-38页
·本章小结	第38-39页
3 碲化锑薄膜在多晶金衬底上的ECALE 沉积	第39-49页
·引言	第39页
·实验方法	第39-40页
·TE 在多晶AU 衬底上的电化学特性研究	第40-41页
·SB 在多晶AU 衬底上的电化学特性研究	第41-43页
·SB_2TE_3 薄膜的ECALE 沉积	第43-47页
·本章小结	第47-49页
4 结论	第49-51页
·全文结论	第49-50页
·展望与建议	第50-51页
致谢	第51-52页
参考文献	第52-58页
附录：攻读硕士学位期间发表和待发表论文	第58页