| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·薄膜材料的特点和应用 | 第9-11页 |
| ·薄膜材料的制备方法简介 | 第11-19页 |
| ·磁性薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| ·本文的主要工作 | 第21-22页 |
| 2 等离子体气相沉积仪的制备 | 第22-34页 |
| ·制备仪器 | 第22-23页 |
| ·仪器介绍 | 第23-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 3 有机磁性薄膜的制备与测试 | 第34-41页 |
| ·制备方案 | 第34-36页 |
| ·实验流程 | 第36-37页 |
| ·测试仪器及分析方法 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 实验结果与讨论 | 第41-50页 |
| ·影响薄膜沉积速率的参数 | 第41-43页 |
| ·薄膜的形貌分析 | 第43-45页 |
| ·薄膜ESCA(又名XPS)分析 | 第45-48页 |
| ·磁性分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 全文总结与展望 | 第50-52页 |
| ·全文总结 | 第50-51页 |
| ·展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录 攻读硕士期间发表论文情况 | 第57页 |