MEMS固体微推进器的设计与制作
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-22页 |
| ·微机电系统(MEMS)概论 | 第12-16页 |
| ·MEMS 的起源和特点 | 第12-13页 |
| ·MEMS 的应用领域及发展前景 | 第13-16页 |
| ·微推进器的研究现状及发展趋势 | 第16-20页 |
| ·微推进器的需求背景及研究现状 | 第16-20页 |
| ·微推进器的发展趋势 | 第20页 |
| ·本课题的主要任务及章节安排 | 第20-21页 |
| ·课题来源 | 第20页 |
| ·课题研究的意义 | 第20-21页 |
| ·主要任务及章节安排 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 微推进器设计 | 第22-29页 |
| ·微推进器总体方案的确定 | 第22-24页 |
| ·各种类型MEMS 微推进器的比较 | 第22-23页 |
| ·微推进系统方案的确定 | 第23-24页 |
| ·微推进器各部分结构设计 | 第24-28页 |
| ·底部点火电路的设计 | 第24-25页 |
| ·储腔层的设计 | 第25-26页 |
| ·顶部喷嘴层的设计 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 微推进器相关制作工艺研究 | 第29-42页 |
| ·金属薄膜的溅射工艺研究 | 第29-33页 |
| ·原理介绍及Cr 薄膜概述 | 第29-30页 |
| ·相关工艺参数研究 | 第30-33页 |
| ·SiO_2 的ICP 刻蚀技术 | 第33-36页 |
| ·ICP 原理介绍 | 第34-35页 |
| ·SiO_2 的刻蚀 | 第35-36页 |
| ·Cr 的湿法腐蚀工艺研究 | 第36-38页 |
| ·实验方法分析 | 第36-37页 |
| ·实验结果及分析 | 第37-38页 |
| ·结论 | 第38页 |
| ·Si 的湿法腐蚀工艺研究 | 第38-41页 |
| ·实验方法 | 第38-39页 |
| ·实验结果及分析 | 第39-41页 |
| ·结论 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 微推进器的制作 | 第42-50页 |
| ·底部电路层的制作 | 第42-45页 |
| ·微晶玻璃的清洗 | 第42-43页 |
| ·溅射Cr 膜 | 第43页 |
| ·甩胶及光刻显影 | 第43-44页 |
| ·湿法腐蚀Cr 膜形成电阻 | 第44-45页 |
| ·二次光刻与溅射铜膜 | 第45页 |
| ·中间储腔层的制作与推进剂的选取 | 第45-46页 |
| ·微晶玻璃的孔加工 | 第45-46页 |
| ·推进剂的选取 | 第46页 |
| ·顶部喷嘴层的制作 | 第46-49页 |
| ·Si 片的氧化 | 第47-48页 |
| ·双面光刻 | 第48页 |
| ·ICP 刻蚀SiO_2 | 第48页 |
| ·湿法腐蚀Si | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 微推进器组装与测试 | 第50-63页 |
| ·微推进器组装与点火 | 第50-52页 |
| ·微推进器组装 | 第50-51页 |
| ·微推进器点火 | 第51-52页 |
| ·微推力的理论计算 | 第52-58页 |
| ·微推进性能参数的理论推导 | 第52-55页 |
| ·热效应理论与仿真分析 | 第55-58页 |
| ·微推力的测试 | 第58-62页 |
| ·国内外微推力测量的现状 | 第58-60页 |
| ·微推力测量的发展趋势 | 第60-61页 |
| ·微推进器推力测试 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论和展望 | 第63-65页 |
| ·全文工作总结 | 第63页 |
| ·未来工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69页 |
