高功率板条CO2激光器射频放电技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·高功率CO_2激光器激励技术进展 | 第10-12页 |
| ·射频激励CO_2激光器的发展现状 | 第12-15页 |
| ·射频激励CO_2激光器的关键技术 | 第15-18页 |
| ·本文的意义和主要内容 | 第18-20页 |
| 2 射频板条激光器气体放电特性分析 | 第20-37页 |
| ·射频激励气体放电理论模型 | 第20-22页 |
| ·射频放电区域相关特性分析 | 第22-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 3 大功率射频电源与匹配特性研究 | 第37-57页 |
| ·大功率射频电源的设计 | 第37-45页 |
| ·大功率射频源与放电负载匹配方式的理论分析 | 第45-49页 |
| ·大面积射频放电电极均压特性研究 | 第49-53页 |
| ·高功率射频气体放电实验研究 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 射频板条电极结构设计与实验 | 第57-75页 |
| ·电极温度场的理论分析 | 第57-61页 |
| ·电极热交换机理 | 第61-64页 |
| ·电极流道设计及仿真 | 第64-72页 |
| ·射频板条电极冷却效果实验 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 射频板条CO_2激光器功率控制技术研究 | 第75-90页 |
| ·功率取样环节和检测电路设计 | 第75-80页 |
| ·射频板条激光的功率控制 | 第80-87页 |
| ·实验研究 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 6 射频板条CO_2激光器抗电磁干扰研究 | 第90-111页 |
| ·激光射频电源的电磁辐射干扰分析 | 第90-92页 |
| ·射频电磁辐射检测及屏蔽 | 第92-101页 |
| ·射频滤波器的设计 | 第101-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 7 总结与展望 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-122页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第122-123页 |
| 附录2 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第123页 |
