识别导致器件失效的静电放电模型
| 摘 要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 图片目录 | 第7-8页 |
| 表格目录 | 第8-9页 |
| 符号说明 | 第9-10页 |
| 1 引言 | 第10-13页 |
| 2 静电模拟测试和静电保护电路 | 第13-24页 |
| ·静电的产生和静电放电 | 第13-15页 |
| ·静电源的消除 | 第15-16页 |
| ·静电放电模型和模拟测试方法 | 第16-20页 |
| ·ESD 保护电路简介 | 第20-24页 |
| 3 静电损伤的失效模式和失效机理 | 第24-29页 |
| ·静电损伤的特点 | 第24页 |
| ·静电损伤的失效模式 | 第24-26页 |
| ·静电损伤的失效机理 | 第26-29页 |
| 4 失效特征研究的实验方案和实验结果 | 第29-34页 |
| ·实验中的静电模拟测试方法 | 第29页 |
| ·实验方案的介绍 | 第29-31页 |
| ·静电放电模拟测试的引脚组合 | 第30-31页 |
| ·静电放电失效判据 | 第31页 |
| ·失效分析方法的介绍 | 第31-32页 |
| ·HBM & MM 实验结果 | 第32-33页 |
| ·CDM 实验结果 | 第33-34页 |
| 5 ESD 失效的特征 | 第34-40页 |
| ·电过应力(简称EOS) | 第34-35页 |
| ·EOS 和ESD 失效的差别 | 第35页 |
| ·人体模型和机器模型ESD 失效 | 第35-38页 |
| ·带电器件模型ESD 失效 | 第38-40页 |
| 6 结论 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第45-46页 |
| 学位论文原创性声明 | 第46-47页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第47-48页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第48页 |
