闭合场非平衡磁控溅射离子镀装备实时监控系统软件设计
| 1 绪论 | 第1-14页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第7-10页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究和应用现状 | 第8-9页 |
| ·研究意义 | 第9-10页 |
| ·基于PC的测控技术的发展及虚拟仪器 | 第10-13页 |
| ·虚拟仪器的概念 | 第10-12页 |
| ·虚拟仪器系统的构成 | 第12-13页 |
| ·课题的研究内容和任务 | 第13-14页 |
| 2 系统总体设计 | 第14-28页 |
| ·计算机监控系统及设计原则 | 第14-18页 |
| ·计算机监控系统概述 | 第14-15页 |
| ·计算机监控系统的组成 | 第15-16页 |
| ·计算机监控系统的设计原则 | 第16-18页 |
| ·系统总体方案设计 | 第18-28页 |
| ·UDP工艺原理 | 第18-21页 |
| ·系统主要监控对象及其分析 | 第21-22页 |
| ·控制系统的构成 | 第22-23页 |
| ·上位机软件平台的选择 | 第23-28页 |
| 3 监控系统软件的设计与实现 | 第28-46页 |
| ·软件的设计思想 | 第28-29页 |
| ·监控系统软件总体设计 | 第29-32页 |
| ·功能模块划分 | 第29-30页 |
| ·软件流程的设计 | 第30页 |
| ·监控软件的变量管理 | 第30-32页 |
| ·监控系统主要功能模块设计与实现 | 第32-46页 |
| ·启动模块设计 | 第32-33页 |
| ·真空控制模块设计 | 第33-34页 |
| ·过程监视模块设计 | 第34-35页 |
| ·参数设置模块设计 | 第35-38页 |
| ·趋势显示模块设计 | 第38-39页 |
| ·默认设置模块设计 | 第39-40页 |
| ·故障报警模块设计 | 第40-41页 |
| ·管理模块设计 | 第41-43页 |
| ·实现界面之间的相互切换 | 第43-44页 |
| ·生成Word文档报告 | 第44-46页 |
| 4 监控软件设计中的关键技术 | 第46-66页 |
| ·基于LabVIEW的系统多任务调度策略 | 第46-56页 |
| ·多任务的相关概念 | 第46-47页 |
| ·LabVIEW的多任务运行机制 | 第47-51页 |
| ·监控系统多任务调度策略的具体实现 | 第51-56页 |
| ·数据管理 | 第56-66页 |
| ·数据文件存取 | 第56-58页 |
| ·数据库管理 | 第58-66页 |
| 5 结束语 | 第66-68页 |
| ·工作总结 | 第66页 |
| ·研究中的不足和展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73页 |
