钛酸锶钡非线性铁电薄膜的尺寸效应研究

第一章 前言	第1-22页
·铁电体研究现状	第8-13页
·铁电体简介	第8-10页
·铁电体发展简史	第10页
·铁电薄膜及应用	第10-13页
·钛酸锶钡(BST)性质	第13-14页
·BST 研究现状	第14-20页
·BST 薄膜的制备方法	第14-18页
·BST 薄膜组分变化、掺杂研究	第18-19页
·BST 薄膜的主要应用	第19-20页
·本论文的选题依据和主要研究任务	第20-22页
第二章 实验方法	第22-33页
·薄膜器件结构及电极材料的选择	第22-23页
·电极的制备	第23-24页
·基片的清洗	第24页
·薄膜的制备	第24-28页
·磁控溅射法的基本原理及装置	第25-27页
·溅射系统以及薄膜制备工艺	第27-28页
·薄膜的后处理	第28-29页
·薄膜性能表征	第29-33页
·薄膜围观结构分析	第29-30页
·X 射线衍射分析	第29-30页
·AFM 表面形貌分析	第30页
·薄膜尺寸测量	第30-31页
·薄膜的电性能表征	第31-33页
第三章 BST 薄膜后处理研究	第33-45页
·管式炉退火	第33-39页
·温度对结晶性的影响	第33-37页
·温度对结晶取向的影响	第37-39页
·快速退火	第39-42页
·退火气氛对薄膜表面的影响	第39-40页
·保温时间对薄膜表面的影响	第40-41页
·循环次数对薄膜表面的影响	第41-42页
·两种退火方式之比较	第42-45页
第四章 BST 薄膜电性能测试分析	第45-54页
·薄膜的介电特性	第45-48页
·晶粒大小的影响	第48-51页
·薄膜厚度的影响	第51-54页
第五章 结论	第54-55页
参考文献	第55-59页
致谢	第59页