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Ⅲ-Ⅴ族半导体MQW平面波导光器件的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-20页
第一章 绪论第20-47页
   ·光网技术与光子器件第20-25页
     ·Internet 的发展第20页
     ·IP over DWDM第20-22页
     ·微波光子网技术第22-24页
     ·现代光网中的平面光波光路第24-25页
   ·光调制器/开关(OM/S)研究现状第25-31页
     ·LiNbO3-OM/S第26-27页
     ·聚合物波导OM/S第27-28页
     ·半导体多量子阱电吸收型OM/S第28-31页
   ·平面波导滤波器研究现状第31-34页
     ·平面波导谐振腔滤波器第31-33页
       ·研究简况第31页
       ·研究进展第31-33页
     ·其它滤波器第33-34页
       ·光栅型滤波器(轴向对准型)第33-34页
       ·干涉滤波型(轴向对准型)第34页
       ·集成波导阵列光栅滤波器AWG第34页
       ·耦合型光纤滤波器第34页
   ·Ⅲ-Ⅴ半导体光波导设计方法及工艺技术第34-38页
     ·设计方法第34-35页
     ·工艺流程第35-36页
     ·MQW 材料结构外延生长技术第36-37页
     ·图形加工第37-38页
   ·本文工作简介第38-41页
     ·研制多量子阱PLC 器件的重要性第38页
     ·欲解决的主要问题第38页
     ·本文完成的主要工作第38-40页
     ·本文的主要创新点第40-41页
 参考文献第41-47页
第二章 平面光波光路(PLCs)时域束传输法和有限差分法分析第47-73页
   ·时域束传播法第47-54页
     ·时域束传播方程第47-49页
     ·二维标量时域有限差分束传输方程第49-51页
     ·TD-FD-BPM 法边界条件第51-54页
   ·时域有限差分法(FDTD)第54-65页
     ·Yee 算法第54-57页
       ·3D 差分模型第55-56页
       ·2D 差分模型第56-57页
     ·吸收边界条件第57-64页
       ·一、二阶Mur 吸收边界条件第58-61页
       ·完全匹配层吸收边界条件(PML)第61-64页
     ·激励源第64-65页
   ·算法验证和分析第65-71页
     ·TD-FD-BPM第65-70页
     ·FDTD第70-71页
   ·本章小结第71-72页
 参考文献第72-73页
第三章 高折射率差平面谐振腔滤波器分析及设计第73-91页
   ·谐振腔中的光波第73-78页
     ·基本定义和概念第73页
     ·耦合谐振腔第73-74页
     ·谐振腔与波导的耦合第74-76页
     ·稳态单环谐振腔性能分析第76-78页
   ·四端口谐振腔系统分析第78-82页
     ·各端口光波振幅关系第78-80页
     ·行波型谐振腔系统第80页
     ·驻波型谐振腔系统第80页
     ·两相同驻波谐振腔系统第80-82页
   ·谐振腔滤波器FDTD 优化设计分析第82-88页
     ·波导结构和仿真条件第82-83页
     ·GaAs/GaAlAs 双异质结平面谐振腔滤波器第83-86页
     ·GaAs/InGaAs 多量子阱平面谐振腔滤波器第86-87页
     ·InP/InGaAsP 多量子阱平面谐振腔滤波器第87-88页
     ·多功能平面波导谐振腔滤波系统第88页
   ·本章小结第88-89页
 参考文献第89-91页
第四章 Ⅲ-Ⅴ族半导体多量子阱光调制器/开关性能分析及设计第91-115页
   ·Ⅲ-Ⅴ半导体MQW 的物理特性第91-97页
     ·MQW 中的主要物理现象第91-92页
     ·Ⅲ-Ⅴ族半导体多量子阱吸收谱分析第92-95页
     ·MQW 基本参数估算第95-97页
   ·MQW 波导设计第97-101页
     ·Ⅲ-Ⅴ半导体的禁带宽度E_g和折射率的计算第97-99页
     ·InGaAsP/InP-MQW 波导结构设计第99-101页
   ·InP/InGaAsP-MQW 光波导及OM/S 传输分析第101-103页
     ·InP/InGaAsP-MQW 的光传输系数第101页
     ·MQW 直脊波导单模场图及光传输分析第101-102页
     ·M-Z 型OM/S 分支夹角与光功率损耗关系第102页
     ·2X1 光双波合路平面波导调制器/开关第102-103页
   ·半导体多量子阱调制器行波电极分析第103-112页
     ·静态特性分析第103-106页
     ·MQW 结构衬底微波电路模型——直接时域近似法第106-110页
     ·MQW-OM/S 行波电极微波特性分析第110-112页
   ·本章小结第112-113页
 参考文献第113-115页
第五章InP/InGaAs 化合物半导体多量子阱材料的生长第115-124页
   ·InP/InGaAsP 多量子阱材料的分子束外延生长第115-117页
     ·半导体材料分子束外延(MBE)原理第115-116页
     ·衬底制备第116-117页
   ·InP/InGaAsP-MQW 材料的生长及性能分析第117-119页
     ·InP/InGaAsP-MQW 的生长第117-118页
     ·InP/InGaAsP-MQW 的性能分析第118-119页
   ·InP/ InGaAsP 应变多量子阱结构分析第119-123页
     ·一般常用的晶体结构和组分分析方法第119页
     ·高分辨X 射线双晶衍射测量原理第119-121页
     ·InP/InGaAsP 应变多量子阱结构的X 射线双晶衍射(XRD)第121-123页
   ·本章小结第123页
 参考文献第123-124页
第六章 InGaAsP/InP-MQW-PLCs 的制作和测试分析第124-150页
   ·InP /InGaAsP 平面波导器件制作第124-132页
     ·器件图形加工第124-127页
     ·电极制作第127-132页
     ·器件芯片切割和封装第132页
   ·光子器件测试系统第132-138页
     ·光功率计第132-133页
     ·可调谐激光器第133页
     ·光谱分析仪第133-134页
     ·光子全参数测试系统第134-137页
     ·光纤与波导对准耦合系统第137-138页
   ·测试误差分析第138-140页
     ·器件连接或光纤熔接引入的不确定性第138页
     ·光电探测单元的不确定性第138-139页
     ·被测器件的偏振相关性第139页
     ·光的干涉第139页
     ·光源的光谱特性第139页
     ·器件的色散特性第139-140页
   ·半导体平面波导谐振腔滤波器件测试分析第140-145页
     ·GaAs/ AlGaAs-DH 波导谐振腔型滤波器第140-142页
     ·InP/InGaAsP-MQW 波导谐振腔滤波器滤波特性实验分析第142-145页
   ·InP/InGaASP-MQW 光调制器/开关的测试分析第145-148页
     ·集成环形谐振腔的单条型 MQW 光调制器第145-147页
     ·M-Z 型 MQW 调制器/开关第147-148页
   ·本章小结第148-149页
 参考文献第149-150页
全文总结第150-153页
作者简介及 攻读博士学位期间发表论文、申请专利等第153-155页
致谢第155页

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