高精度波前过程检测技术的研究
中文摘要 | 第1-5页 |
英文摘要 | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第6-9页 |
·国内外研究状况 | 第6-7页 |
·问题的提出和选题的意义 | 第7页 |
·本课题的主要任务 | 第7-8页 |
参考文献 | 第8-9页 |
第二章 大口径数字波面检测技术 | 第9-25页 |
·条纹扫描检测技术 | 第9-14页 |
·相干光场 | 第9-10页 |
·条纹动态扫描检测基本原理 | 第10-13页 |
·波面表示方法 | 第13-14页 |
·波面拟合 | 第14页 |
·多孔径拼接检测 | 第14-21页 |
·两孔径的拼接原理 | 第14-15页 |
·多孔径拼接原理 | 第15-19页 |
·波面位相的连续化处理 | 第19-21页 |
·面形和波面恢复评价参数 | 第21-24页 |
·传统评价参数 | 第21-22页 |
·波前功率谱密度(PSD)评价方法 | 第22-24页 |
·PSD的基本理论 | 第22-23页 |
·PSD的定义和计算 | 第23-24页 |
·小结 | 第24页 |
参考文献 | 第24-25页 |
第三章 子孔径检测及拼接技术 | 第25-37页 |
·实验系统 | 第25-28页 |
·光学系统 | 第25-26页 |
·拼接模式 | 第26-27页 |
·拼接装置和流程 | 第27-28页 |
·仿真拼接 | 第28-30页 |
·多孔径原理性实验 | 第30-31页 |
·多孔径拼接实验 | 第31-35页 |
·实验装置 | 第31页 |
·平台稳定性测试 | 第31-33页 |
·两孔径拼接实验 | 第33-34页 |
·多孔径拼接结果 | 第34-35页 |
·小结 | 第35-36页 |
参考文献 | 第36-37页 |
第四章 多孔径拼接误差分析及影响因素 | 第37-45页 |
·多孔径拼接误 | 第37-39页 |
·多孔径拼接误差源 | 第37-38页 |
·静态误差 | 第38-39页 |
·干涉仪随机噪声 | 第38页 |
·标定误差 | 第38-39页 |
·系统静态误差 | 第39页 |
·动态误差 | 第39页 |
·多孔径拼接影响因素 | 第39-43页 |
·小结 | 第43页 |
参考文献 | 第43-45页 |
第五章 系统优化及方法改善 | 第45-56页 |
·静态误差改善 | 第45-48页 |
·系统静态误差的改善 | 第45-47页 |
·定位误差 | 第47-48页 |
·动态误差改善 | 第48-51页 |
·引入对PZT误差不敏感算法 | 第49-51页 |
·对移相器进行标定 | 第51页 |
·干涉效果改善的处理方法 | 第51-54页 |
·干涉条纹图像的预处理 | 第52页 |
·干涉条纹信息的提取和分析 | 第52-54页 |
·小结 | 第54页 |
参考文献 | 第54-56页 |
第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
·本论文完成的任务 | 第56页 |
·总结及进一步工作 | 第56-58页 |
·总结 | 第56-57页 |
·继续工作的重点 | 第57-58页 |
附录 | 第58-59页 |
致谢 | 第59页 |