MEMS硅微麦克风的偏置电路及前置放大器的设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·课题提出的意义 | 第10-12页 |
| ·课题的研究内容和目标 | 第12-14页 |
| ·课题的研究内容 | 第12页 |
| ·课题的目标 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS硅微麦克风 | 第14-19页 |
| ·MEMS硅微麦克风的种类 | 第14-15页 |
| ·电容式硅微麦克风的结构和工作原理 | 第15-16页 |
| ·电容式硅微麦克风的电学参数 | 第16-19页 |
| ·灵敏度 | 第16-17页 |
| ·静态电容 | 第17-18页 |
| ·频率响应 | 第18页 |
| ·输出阻抗 | 第18-19页 |
| 第三章 系统结构设计 | 第19-33页 |
| ·偏置电路 | 第19-28页 |
| ·电荷泵 | 第19-23页 |
| ·片上时钟生成模块 | 第23-26页 |
| ·带隙基准源 | 第26-27页 |
| ·误差放大器 | 第27-28页 |
| ·前置放大器 | 第28-33页 |
| ·前置放大器的种类 | 第28-30页 |
| ·前置放大器的噪声特性 | 第30-32页 |
| ·前置放大器的性能参数 | 第32-33页 |
| 第四章 电路的结构设计及仿真验证 | 第33-52页 |
| ·偏置电路 | 第33-44页 |
| ·电荷泵 | 第33-37页 |
| ·振荡器 | 第37-39页 |
| ·D触发器 | 第39-40页 |
| ·带隙基准电压源 | 第40-42页 |
| ·误差放大器 | 第42-44页 |
| ·前置放大器 | 第44-52页 |
| 第五章 版图设计和优化 | 第52-56页 |
| ·布局 | 第52-53页 |
| ·版图设计规则的检查DRC | 第53-54页 |
| ·版图与电路一致性检查LVS | 第54-56页 |
| 第六章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 在学研究成果 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
