| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-26页 |
| ·气体传感器的发展及分类 | 第8-11页 |
| ·半导体气体传感器的发展 | 第8-10页 |
| ·半导体气体传感器检测原理及存在的问题 | 第10-11页 |
| ·加热的稳定性问题 | 第10页 |
| ·气敏元件的选择性问题 | 第10-11页 |
| ·温湿度补偿问题 | 第11页 |
| ·半导体型气体传感器气敏材料的制备 | 第11-16页 |
| ·烧结型气敏传感器的制备工艺 | 第11-13页 |
| ·烧结型气敏材料粉体的制备 | 第11-13页 |
| ·烧结型传感器的制备 | 第13页 |
| ·薄膜型气敏材料的制备 | 第13-16页 |
| ·磁控溅射法 | 第14页 |
| ·真空蒸发镀膜法 | 第14页 |
| ·喷雾热解法 | 第14-15页 |
| ·CVD 法 | 第15页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| ·CO_2 气体传感器的分类及发展经历 | 第16-18页 |
| ·氧化物半导体型CO_2 气体传感器的发展动态 | 第18-21页 |
| ·CuO 的晶体结构及性能 | 第21-23页 |
| ·CuO 的结构 | 第21-22页 |
| ·CuO 的性质及应用前景 | 第22页 |
| ·纳米 CuO 的气敏特性 | 第22-23页 |
| ·钛酸锶的晶体结构及性能 | 第23-25页 |
| ·课题的提出 | 第25-26页 |
| 第二章 实验部分 | 第26-33页 |
| ·原材料的选择 | 第26页 |
| ·CuO-SrTiO_3 溶胶的制备 | 第26-27页 |
| ·CuO-SrTiO_3 薄膜制备的工艺过程 | 第27-28页 |
| ·CuO-Si_(0.97)Na_(0.03)TiO_3 CuO-SrTiO_3 系材料粉体的制备 | 第28-29页 |
| ·CuO-SrTiO_3 系烧结型传感器的制备 | 第29页 |
| ·实验研究方法 | 第29-30页 |
| ·X 射线衍射（XRD）分析 | 第29页 |
| ·薄膜显微结构(SEM)分析 | 第29-30页 |
| ·失重-差热(TG-DTA)分析 | 第30页 |
| ·红外光谱（IR）分析 | 第30页 |
| ·特征参数 | 第30-31页 |
| ·灵敏度 | 第30页 |
| ·选择性 | 第30-31页 |
| ·初始特征 | 第31页 |
| ·响应时间和恢复时间 | 第31页 |
| ·测试系统 | 第31-33页 |
| 第三章 CuO-SrTiO_3系复相材料制备与气敏性能研究 | 第33-61页 |
| ·溶胶凝胶法制备CuO-SrTiO_3 系复相薄膜材料 | 第33-44页 |
| ·CuO-SrTiO_3 溶胶的制备 | 第33-39页 |
| ·体系主配方组成的确定 | 第33-34页 |
| ·溶胶制备工艺方案的确定 | 第34-37页 |
| ·溶胶制备中水浴温度的确定及作用 | 第37页 |
| ·溶胶浓度的选择 | 第37-38页 |
| ·凝胶结构的分析 | 第38-39页 |
| ·CuO-SrTiO_3 薄膜制备工艺研究 | 第39-44页 |
| ·溶胶膜浸渍速度和涂膜次数的确定 | 第39-41页 |
| ·薄膜热处理工艺的确定 | 第41-43页 |
| ·薄膜烧结温度的确定 | 第43-44页 |
| ·CuO-SrTiO_3 系复相薄膜材料的气敏性能 | 第44-58页 |
| ·未掺杂CuO-SrTiO_3 材料的阻温特性及气敏性能 | 第44-50页 |
| ·CuO-SrTiO_3 复相材料的阻温特性 | 第44-45页 |
| ·CuO-SrTiO_3 复相材料的气体敏感特性 | 第45-48页 |
| ·CuO-SrTiO_3 复相材料的气体选择性 | 第48-49页 |
| ·CuO-SrTiO_3 系复相材料的气敏原理 | 第49-50页 |
| ·掺杂CuO-SrTiO_3 材料的阻温特性及气敏性能 | 第50-58页 |
| ·低价掺杂 Na~+的 CuO-SrTiO_3 复相材料阻温特性及其气敏性能 | 第50-52页 |
| ·高价掺杂La~(3+)的CuO-SrTiO_3 复相材料阻温特性及其气敏性能 | 第52-55页 |
| ·表面修饰对提高CuO-SrTiO_3 系复相材料的气敏性能的研究 | 第55-58页 |
| ·烧结型CuO—SrTiO_3 系复相材料传感器的制备及其气敏性能 | 第58-61页 |
| ·烧结型CuO—SrTiO_3 系复相材料传感器的制备 | 第58页 |
| ·烧结型CuO—SrTiO_3 系复相材料传感器阻温性能 | 第58-59页 |
| ·烧结型CuO—SrTiO_3 系复相材料传感器气敏特性 | 第59-61页 |
| 第四章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
