基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题的研究意义 | 第8页 |
| ·发展历史和技术现状 | 第8-10页 |
| ·发展趋势和应用前景 | 第10-11页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第11-12页 |
| 第2章 子孔径拼接检测技术研究 | 第12-19页 |
| ·子孔径拼接原理 | 第12页 |
| ·子孔径拼接的分类 | 第12-16页 |
| ·按子孔径形状 | 第12-15页 |
| ·按子孔径排列方式 | 第15页 |
| ·按子孔径拼接顺序 | 第15-16页 |
| ·子孔径数目的确定 | 第16-18页 |
| ·子孔径数目确定的依据 | 第16页 |
| ·子孔径数目的确定方法 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 子孔径拼接检测系统 | 第19-29页 |
| ·近代干涉检测技术 | 第19-20页 |
| ·移相干涉技术 | 第20-22页 |
| ·移相干涉术的原理 | 第20-21页 |
| ·移相器 | 第21-22页 |
| ·相位解包算法 | 第22页 |
| ·绝对检验方法 | 第22页 |
| ·波面参数计算 | 第22页 |
| ·移相式干涉仪 | 第22-25页 |
| ·泰曼—格林干涉仪 | 第23-24页 |
| ·斐索干涉仪 | 第24-25页 |
| ·拼接干涉仪 | 第25-26页 |
| ·QED拼接干涉仪 | 第25页 |
| ·球体球面拼接检测干涉仪 | 第25-26页 |
| ·平面子孔径拼接检测系统设计与建立 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 子孔径拼接算法研究与程序设计 | 第29-41页 |
| ·算法原理 | 第29-33页 |
| ·“两两孔径拼接”原理及特点 | 第29-30页 |
| ·“目标函数”多孔径拼接原理及特点 | 第30-31页 |
| ·“误差均化”拼接原理及特点 | 第31-32页 |
| ·“局部均化误差”拼接原理及特点 | 第32-33页 |
| ·子孔径拼接检测中倾斜的消除 | 第33-36页 |
| ·最小二乘法拟合平面消倾斜 | 第34-35页 |
| ·通过泽尼克多项式拟合系数消倾斜 | 第35-36页 |
| ·子孔径拼接检测的精度评价参数 | 第36-39页 |
| ·传统评价参数 | 第36-37页 |
| ·泽尼克多项式评价方法 | 第37页 |
| ·波前功率谱密度(PSD)评价方法 | 第37-39页 |
| ·拼接程序设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 子孔径拼接实验 | 第41-46页 |
| ·子孔径拼接模拟实验 | 第41-43页 |
| ·子孔径拼接实测数据实验 | 第43-45页 |
| ·一维实测数据拼接实验 | 第43-44页 |
| ·二维实测数据拼接实验 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第6章 子孔径拼接误差分析 | 第46-51页 |
| ·子孔径测量误差对拼接精度的影响 | 第46-47页 |
| ·干涉仪随机噪声误差 | 第46-47页 |
| ·标定误差 | 第47页 |
| ·系统静态误差 | 第47页 |
| ·重叠区域大小和子孔径数目对拼接精度的影响 | 第47-49页 |
| ·拼接模式对拼接精度的影响 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 总结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
