| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-44页 |
| ·引言 | 第14-17页 |
| ·新型高k栅介质材料的选择标准 | 第17-21页 |
| ·介电常数 | 第17-18页 |
| ·与Si的热稳定性 | 第18-19页 |
| ·带隙和界面势垒 | 第19-20页 |
| ·界面特性 | 第20-21页 |
| ·薄膜形态 | 第21页 |
| ·高k薄膜常用制备方法 | 第21-26页 |
| ·脉冲激光沉积技术 | 第21-23页 |
| ·磁控溅射 | 第23-24页 |
| ·分子束外延 | 第24页 |
| ·原子层沉积 | 第24页 |
| ·化学气相沉积 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶 | 第25-26页 |
| ·高k薄膜常用表征方法 | 第26-33页 |
| ·物相和微结构分析 | 第26-29页 |
| ·表面与界面分析 | 第29-31页 |
| ·红外光谱和声子模式 | 第31-33页 |
| ·电学性能表征 | 第33页 |
| ·高k栅介质材料的研究进展 | 第33-38页 |
| ·本论文的研究内容 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-44页 |
| 第二章 La_2Hf_2O_7薄膜的生长和性质研究 | 第44-84页 |
| ·引言 | 第44-46页 |
| ·La_2Hf_2O_7薄膜的生长 | 第46-48页 |
| ·实验所用PLD设备介绍 | 第46-48页 |
| ·La_2Hf_2O_7薄膜制备过程 | 第48页 |
| ·La_2Hf_2O_7薄膜的结构表征 | 第48-53页 |
| ·XRD测量与分析 | 第48-49页 |
| ·EXAFS测量与分析 | 第49-53页 |
| ·界面性质研究 | 第53-66页 |
| ·XRR测试与分析 | 第54-55页 |
| ·FTIR变角反射测试与分析 | 第55-56页 |
| ·XPS测试与分析 | 第56-61页 |
| ·氧气氛影响 | 第61-62页 |
| ·退火影响 | 第62-66页 |
| ·价带偏移 | 第66-71页 |
| ·实验原理和实验方法 | 第67-68页 |
| ·结果讨论 | 第68-71页 |
| ·La_2Hf_2O_7薄膜与体材料的声子模式比较 | 第71-80页 |
| ·介电常数与声子模式关系 | 第71-73页 |
| ·远红外光谱测试 | 第73-74页 |
| ·La_2Hf_2O_7体材料的声子模式 | 第74-77页 |
| ·La_2Hf_2O_7薄膜的声子模式 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 第三章 Hf_((1-x))La_xO_y薄膜的生长、结构和声子性质研究 | 第84-103页 |
| ·引言 | 第84-85页 |
| ·HfO_2薄膜的生长、结构和声子性质研究 | 第85-93页 |
| ·HfO_2薄膜的生长 | 第85-86页 |
| ·HfO_2薄膜的结构表征 | 第86-90页 |
| ·制备条件对声子模式的影响 | 第90-93页 |
| ·La掺杂对HfO_2薄膜结构和声子的影响 | 第93-100页 |
| ·Hf_((1-x))La_xO_y薄膜的生长 | 第93-94页 |
| ·Hf_((1-x))La_xO_y薄膜的结构表征 | 第94-98页 |
| ·La掺杂对声子模式的影响 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-103页 |
| 第四章 白色长余辉材料Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy~(3+)的发光特性和机理研究 | 第103-122页 |
| ·长余辉材料简介 | 第103-108页 |
| ·长余辉发光材料 | 第103-105页 |
| ·白色长余辉材料的研究进展 | 第105-108页 |
| ·Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy_(3+)的制备与晶体结构 | 第108-110页 |
| ·样品制备 | 第108页 |
| ·Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy~(3+)的晶体结构 | 第108-110页 |
| ·Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy~(3+)的发光特性和机理研究 | 第110-119页 |
| ·Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy~(3+)的光致发光特性 | 第110-114页 |
| ·Ca_xMgSi_2O_(5+x):Dy~(3+)的长余辉特性 | 第114-117页 |
| ·余辉机理探讨 | 第117-119页 |
| ·本章小结 | 第119页 |
| 参考文献 | 第119-122页 |
| 总结与展望 | 第122-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 硕博连读期间发表的学术论文 | 第126-127页 |
