基于狭缝波导的光器件研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 目次 | 第10-13页 |
| 1 绪论 | 第13-37页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·集成光学的发展动向 | 第14-18页 |
| ·硅基光子学和混合集成的研究现状 | 第18-21页 |
| ·硅基光子学 | 第18-20页 |
| ·混合集成 | 第20-21页 |
| ·狭缝波导的提出与研究现状 | 第21-26页 |
| ·狭缝波导的概念及基本性质 | 第21-25页 |
| ·狭缝波导的应用 | 第25-26页 |
| ·本论文的研究意义和工作内容 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-37页 |
| 2 基于马赫-曾德结构的干涉型狭缝波导光开关 | 第37-55页 |
| ·马赫-曾德干涉型2×2光波导开关的基本原理 | 第37-38页 |
| ·多模干涉自映像效应 | 第38-40页 |
| ·聚合物材料的电光效应 | 第40-42页 |
| ·马赫-曾德干涉型狭缝波导光开关的设计 | 第42-52页 |
| ·器件结构参数设计 | 第42-47页 |
| ·工作机理及结果分析 | 第47-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 3 数字型狭缝波导光开关 | 第55-69页 |
| ·数字型光开关的工作原理 | 第55-57页 |
| ·单狭缝数字型狭缝波导光开关的设计 | 第57-63页 |
| ·多狭缝数字型狭缝波导光开关的设计 | 第63-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 4 狭缝波导电极的改进研究 | 第69-90页 |
| ·狭缝波导的电极 | 第69-71页 |
| ·半导体pn结原理 | 第71-75页 |
| ·反偏pn结型狭缝波导改进电极 | 第75-88页 |
| ·理想的狭缝波导电极 | 第75-80页 |
| ·刻蚀深度不理想的狭缝波导电极 | 第80-82页 |
| ·改进的反偏p-n结型狭缝波导电极 | 第82-88页 |
| 参考文献 | 第88-90页 |
| 5 狭缝波导微流传感器的设计与制作 | 第90-121页 |
| ·集成光学微流传感器 | 第90-93页 |
| ·狭缝波导微流传感器的设计 | 第93-100页 |
| ·狭缝波导微流传感器 | 第93-94页 |
| ·波导结构设计 | 第94-96页 |
| ·非对称马赫-曾德型微流传感器的设计 | 第96-100页 |
| ·器件制作与测试 | 第100-117页 |
| ·代工制作方案 | 第100-107页 |
| ·端面耦合测试系统 | 第107-108页 |
| ·光栅耦合测试系统 | 第108-109页 |
| ·测试结果及分析 | 第109-117页 |
| 参考文献 | 第117-121页 |
| 6 聚合物-硅混合集成水平狭缝波导的制作 | 第121-148页 |
| ·水平狭缝波导的制作 | 第121-122页 |
| ·聚合物-硅混合集成方案 | 第122-127页 |
| ·聚合物-硅混合集成水平狭缝波导的制作 | 第127-144页 |
| ·粘合实验 | 第127-139页 |
| ·腐蚀和压力验证 | 第139-141页 |
| ·存在问题及解决方案 | 第141-144页 |
| 参考文献 | 第144-148页 |
| 7 总结与展望 | 第148-151页 |
| ·总结 | 第148-149页 |
| ·存在的不足及展望 | 第149-151页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间的研究成果 | 第151-154页 |
