| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 符号说明 | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11页 |
| ·超精密双面抛光加工设备的国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·气动技术的发展与研究现状 | 第14-15页 |
| ·可编程控制器 （ PLC ）的现状与发展趋势 | 第15-16页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小节 | 第17-18页 |
| 第2章 双面抛光机气动加载系统过程控制理论分析 | 第18-26页 |
| ·双面抛光机气动加载系统的特点及技术要求 | 第18-19页 |
| ·气动系统的组成 | 第18-19页 |
| ·过程控制理论简介 | 第19-21页 |
| ·过程控制的形成与发展 | 第19-20页 |
| ·过程控制系统的组成 | 第20-21页 |
| ·过程控制系统的性能指标 | 第21-23页 |
| ·气动比例控制方法 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 双面抛光机气动加载系统建模与仿真 | 第26-50页 |
| ·双面抛光机气动加载控制回路 | 第26页 |
| ·AMESim 简介 | 第26-30页 |
| ·AMESim 软件介绍 | 第26-28页 |
| ·AMESim 软件的特点 | 第28-29页 |
| ·AMESim 气动图库中的气动元件模型简介 | 第29-30页 |
| ·气动加载系统 AMESim 建模与仿真 | 第30-37页 |
| ·电气比例调压阀的 AMESim 建模 | 第30-31页 |
| ·气动加载系统的 AMESim 建模 | 第31-32页 |
| ·气动加载系统的 AMESim 仿真 | 第32-37页 |
| ·气动加载系统 AMESim 与 Simulink 的模糊 PID 联合仿真 | 第37-49页 |
| ·AMESim 与 Simulink 联合仿真 | 第37页 |
| ·模糊自整定 PID 控制 | 第37-38页 |
| ·模糊自整定 PID 控制器的设计 | 第38-47页 |
| ·系统模糊 PID 联合仿真 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 双面抛光机气动加载控制系统设计 | 第50-66页 |
| ·双面抛光机控制系统概述 | 第50页 |
| ·双面抛光机气动加载原理 | 第50-51页 |
| ·控制系统主要部件选型 | 第51-55页 |
| ·气缸的选择 | 第51-52页 |
| ·压力传感器 | 第52页 |
| ·电气比例阀 | 第52-54页 |
| ·可编程控制器 ( PLC ) | 第54-55页 |
| ·双面抛光机气动加载系统硬件设计 | 第55-58页 |
| ·控制柜电气设计 | 第55-56页 |
| ·硬件系统 | 第56-57页 |
| ·输入输出的接线分配 | 第57-58页 |
| ·双面抛光机气动加载系统软件设计 | 第58-62页 |
| ·软件设计任务和流程图 | 第58页 |
| ·主要程序设计 | 第58-62页 |
| ·人机界面设计 | 第62-65页 |
| ·人机界面的定义 | 第62页 |
| ·人机界面的实现 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 双面抛光机气动加载系统实验研究 | 第66-74页 |
| ·实验准备 | 第66-67页 |
| ·双面抛光实验平台搭建 | 第66页 |
| ·双面抛光工艺实验条件 | 第66-67页 |
| ·双面抛光机气动加载系统闭环实验 | 第67-72页 |
| ·抛光实验 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第6 章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 666.. 1 总总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第80页 |