| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 图表目录 | 第11-17页 |
| 1 绪论 | 第17-30页 |
| ·课题背景介绍 | 第17-19页 |
| ·国内外大口径干涉仪的研究进展 | 第19-27页 |
| ·国外大口径干涉仪的研究进展 | 第19-23页 |
| ·国内大口径干涉仪的研究进展 | 第23-26页 |
| ·国内外Φ600mm干涉仪的比较 | 第26-27页 |
| ·课题来源 | 第27页 |
| ·本论文的主要工作和内容安排 | 第27-30页 |
| 2 近红外大口径相移斐索干涉仪系统 | 第30-51页 |
| ·干涉仪光学系统 | 第31-37页 |
| ·干涉仪光路分析 | 第31-34页 |
| ·干涉仪光源 | 第34-35页 |
| ·干涉仪准直物镜 | 第35-36页 |
| ·干涉仪成像系统 | 第36-37页 |
| ·干涉仪机械系统 | 第37-39页 |
| ·大口径光学元件调整架 | 第37-38页 |
| ·系统隔振 | 第38-39页 |
| ·干涉仪电器系统 | 第39-48页 |
| ·波长调谐相移干涉术 | 第40-44页 |
| ·波长调谐相移标定算法 | 第44-48页 |
| ·干涉仪软件系统 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 3 近红外大口径相移斐索干涉仪标准平晶的有限元分析与实验 | 第51-71页 |
| ·有限元方法简介 | 第52-53页 |
| ·弹性力学的基本方程 | 第53-55页 |
| ·弹性力学基本量 | 第53页 |
| ·弹性力学基本方程 | 第53-55页 |
| ·有限元分析软件 | 第55-58页 |
| ·ANSYS软件简介 | 第56页 |
| ·用ANSYS软件进行有限元分析的典型步骤 | 第56-58页 |
| ·标准平晶参数的确定 | 第58-59页 |
| ·干涉仪大口径标准平晶材料 | 第58页 |
| ·干涉仪标准平晶支撑方式的选择 | 第58-59页 |
| ·标准平晶的力学模型 | 第59-61页 |
| ·标准平晶的径向支承 | 第59-60页 |
| ·下半圆周余弦受力分布模型 | 第60页 |
| ·下半圆周均布受力分布模型 | 第60-61页 |
| ·标准平晶的有限元模型及分析 | 第61-70页 |
| ·标准平晶有限元模型的建立 | 第61页 |
| ·标准平晶支撑角度分析 | 第61-63页 |
| ·吊带宽度分析 | 第63-65页 |
| ·双软梯吊装分析 | 第65-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 4 近红外大口径相移斐索干涉仪光学系统校准 | 第71-99页 |
| ·干涉仪光学系统的调校 | 第71-74页 |
| ·光束准直性检测方法 | 第74-75页 |
| ·五棱镜扫描法 | 第75-85页 |
| ·五棱镜扫描法原理 | 第75-77页 |
| ·五棱镜扫描法实验 | 第77-79页 |
| ·误差分析 | 第79-85页 |
| ·导轨直线度检测 | 第85-90页 |
| ·导轨直线度检测原理 | 第85-88页 |
| ·导轨直线度检测实验 | 第88-89页 |
| ·误差分析 | 第89-90页 |
| ·角锥棱镜扫描法 | 第90-98页 |
| ·角锥棱镜扫描法原理 | 第90-93页 |
| ·角锥棱镜扫描法验证性实验 | 第93-95页 |
| ·角锥棱镜扫描法检测600mm准直波前 | 第95-97页 |
| ·角锥棱镜扫描法讨论 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 5 近红外大口径相移斐索干涉仪系统传递函数检测 | 第99-116页 |
| ·功率谱密度原理及计算方法 | 第99-103页 |
| ·近红外大口径相移斐索干涉仪系统传递函数的标定 | 第103-115页 |
| ·干涉仪系统传递函数的标定方法 | 第104-106页 |
| ·干涉仪系统传递函数的标定实验 | 第106-111页 |
| ·干涉仪系统传递函数标定结果的影响因素 | 第111-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 6 近红外大口径相移斐索干涉仪的应用 | 第116-134页 |
| ·近红外大口径相移斐索干涉仪系统精度测试 | 第116-119页 |
| ·空腔精度测试 | 第116-117页 |
| ·重复性测试 | 第117-118页 |
| ·稳定性测试 | 第118-119页 |
| ·近红外干涉仪测量不确定度分析 | 第119-122页 |
| ·不确定度A类的评定 | 第119页 |
| ·不确定度B类评定 | 第119-121页 |
| ·不确定度的计算 | 第121-122页 |
| ·近红外大口径相移斐索干涉仪斜入射测量研究 | 第122-130页 |
| ·大口径碳化硅测试应用 | 第122-124页 |
| ·斜入射测量原理 | 第124-125页 |
| ·斜入射测量实验 | 第125-128页 |
| ·斜入射测量讨论 | 第128-130页 |
| ·近红外大口径相移斐索干涉仪神光-Ⅲ元件测试应用 | 第130-132页 |
| ·大口径矩形反射镜测试 | 第130-131页 |
| ·镀膜反射镜测试 | 第131-132页 |
| ·本章小结 | 第132-134页 |
| 7 全文总结 | 第134-137页 |
| ·本文所做工作 | 第134-135页 |
| ·本文的创新点 | 第135-136页 |
| ·有待解决的问题 | 第136-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-148页 |
| 附录 | 第148页 |