| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第10页 |
| 1.2 原子力显微技术的研究及发展现状 | 第10-12页 |
| 1.3 AFM微悬臂形变检测方法的研究现状 | 第12-17页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 原子力显微探测的基本原理及方法 | 第19-32页 |
| 2.1 AFM的基本结构 | 第19-24页 |
| 2.1.1 力传感系统 | 第19-21页 |
| 2.1.2 检测及反馈系统 | 第21-22页 |
| 2.1.3 扫描系统 | 第22-24页 |
| 2.2 AFM的基本工作原理 | 第24-26页 |
| 2.3 AFM的工作模式 | 第26-29页 |
| 2.3.1 接触模式 | 第26-27页 |
| 2.3.2 非接触模式 | 第27-28页 |
| 2.3.3 轻敲模式 | 第28-29页 |
| 2.4 AFM探测成像中的图像伪迹 | 第29-31页 |
| 2.4.1 针尖形貌引起的图像伪迹 | 第29页 |
| 2.4.2 扫描器引起的图像伪迹 | 第29-30页 |
| 2.4.3 光学干涉引起的图像伪迹 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 基于F-P干涉的AFM微悬臂检测系统的设计 | 第32-71页 |
| 3.1 F-P干涉的基本原理 | 第32-35页 |
| 3.1.1 平面F-P干涉 | 第32-33页 |
| 3.1.2 球面F-P干涉 | 第33-35页 |
| 3.2 基于F-P干涉检测微悬臂的偏移 | 第35-40页 |
| 3.2.1 AFM中微悬臂位移检测及反馈 | 第35-36页 |
| 3.2.2 F-P干涉仪腔长变化的解调 | 第36-39页 |
| 3.2.3 基于F-P干涉检测微悬臂偏移的方法 | 第39-40页 |
| 3.3 基于F-P干涉的微悬臂检测系统的设计 | 第40-66页 |
| 3.3.1 基于F-P干涉的微悬臂检测系统模型 | 第40-42页 |
| 3.3.2 微悬臂初始角度的研究与设计 | 第42-53页 |
| 3.3.2.1 微悬臂偏转角对干涉光探测的影响 | 第42-50页 |
| 3.3.2.2 微悬臂初始角度的设计 | 第50-53页 |
| 3.3.3 腔镜反射率的研究与设计 | 第53-59页 |
| 3.3.4 光源的研究与选择 | 第59-66页 |
| 3.4 分析比较 | 第66-68页 |
| 3.5 基于F-P干涉的检测系统的AFM图像伪迹 | 第68-69页 |
| 3.6 本章小结 | 第69-71页 |
| 第4章 基于F-P干涉的微悬臂检测系统的实验 | 第71-79页 |
| 4.1 实验器材的选择 | 第71-72页 |
| 4.2 实验过程 | 第72-73页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第73-75页 |
| 4.4 基于F-P干涉的微悬臂检测器的初步开发 | 第75-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 总结与展望 | 第79-82页 |
| 5.1 全文总结 | 第79-80页 |
| 5.2 研究展望 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读学位期间获得与学位相关的科研成果目录 | 第87页 |