摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
注释表 | 第17-20页 |
第一章 前言 | 第20-34页 |
1.1 引言 | 第20页 |
1.2 镁铝尖晶石的材料特性和应用 | 第20-24页 |
1.2.1 镁铝尖晶石的结构 | 第20-21页 |
1.2.2 镁铝尖晶石的材料特性 | 第21-23页 |
1.2.3 镁铝尖晶石的应用 | 第23-24页 |
1.3 镁铝尖晶石球罩的加工现状 | 第24-26页 |
1.4 固结磨料研抛技术 | 第26-30页 |
1.4.1 固结磨料研抛技术特点和现状 | 第26-29页 |
1.4.2 硬脆材料固结磨料研抛的研究现状 | 第29-30页 |
1.5 论文研究的目的、意义和主要内容 | 第30-33页 |
1.5.1 研究的目的和意义 | 第30-31页 |
1.5.2 主要研究内容 | 第31-33页 |
1.6 小结 | 第33-34页 |
第二章 固结磨料研抛的平均切深和材料去除率计算模型 | 第34-54页 |
2.1 引言 | 第34页 |
2.2 固结磨料研抛的平均切深计算模型 | 第34-43页 |
2.2.1 固结磨料研抛垫的结构特点与制备 | 第34-36页 |
2.2.2 固结磨料研抛垫磨料的微观形状特征 | 第36-37页 |
2.2.3 固结磨料研抛垫表面的磨粒分布特点 | 第37-38页 |
2.2.4 FAP凸起中有效磨粒个数 | 第38-40页 |
2.2.5 固结磨料研抛垫磨粒的切深和承受载荷 | 第40-43页 |
2.3 材料去除率计算模型 | 第43-47页 |
2.3.1 单颗磨粒在工件上的运动方程 | 第43-44页 |
2.3.2 磨粒切削去除工材料的总体积推导 | 第44-45页 |
2.3.3 工件材料去除率的数值模型 | 第45-47页 |
2.4 不同条件下单颗磨粒承受载荷分析 | 第47-51页 |
2.5 材料去除率计算模型的实验验证 | 第51-53页 |
2.5.1 实验设计 | 第51-52页 |
2.5.2 材料去除率的实验验证 | 第52-53页 |
2.6 小结 | 第53-54页 |
第三章 镁铝尖晶石固结磨料研抛的材料去除机理 | 第54-84页 |
3.1 引言 | 第54页 |
3.2 化学机械研抛材料去除机理 | 第54-57页 |
3.2.1 纯机械耕犁去除机理 | 第54-55页 |
3.2.2 弹性流体冲蚀去除机理 | 第55-56页 |
3.2.3 化学机械综合去除机理 | 第56-57页 |
3.3 镁铝尖晶石固结磨料研抛的材料去除模型 | 第57-60页 |
3.3.1 三体磨损去除机理和二体磨损去除机理 | 第57-58页 |
3.3.2 镁铝尖晶石固结磨料研抛的材料去除模型 | 第58-60页 |
3.4 固结磨料研抛材料去除实验设计 | 第60-62页 |
3.4.1 实验设计 | 第60-61页 |
3.4.2 测试与分析 | 第61-62页 |
3.5 固结磨料研抛材料去除实验研究 | 第62-68页 |
3.5.1 纯化学作用分析 | 第62-63页 |
3.5.2 纯机械作用分析 | 第63-64页 |
3.5.3 工件材料去除率的综合作用分析 | 第64-66页 |
3.5.4 化学与机械耦合的作用分析 | 第66-68页 |
3.6 研抛介质对镁铝尖晶石工件表面特性的影响 | 第68-82页 |
3.6.1 研抛介质对镁铝尖晶石工件表面机械特性的影响 | 第68-69页 |
3.6.2 研抛介质对镁铝尖晶石工件表面材料临界切深的影响 | 第69-72页 |
3.6.3 研抛介质对镁铝尖晶石工件表面组织结构的影响 | 第72-82页 |
3.7 小结 | 第82-84页 |
第四章 镁铝尖晶石固结磨料研抛的亚表面损伤研究 | 第84-102页 |
4.1 引言 | 第84页 |
4.2 固结磨料研抛裂纹产生的离散元模型 | 第84-87页 |
4.2.1 固结磨料研抛亚表面损伤机制 | 第84-86页 |
4.2.2 固结磨料研抛亚表面损伤模拟的离散元模型 | 第86-87页 |
4.3 固结磨料研抛裂纹产生的离散元仿真 | 第87-92页 |
4.3.1 BPM参数标定虚拟试验 | 第87-91页 |
4.3.2 固结磨料研抛亚表面损伤产生过程的离散元仿真 | 第91-92页 |
4.4 镁铝尖晶石固结磨料研抛的亚表面损伤检测 | 第92-100页 |
4.4.1 亚表面损伤检测方法 | 第92-93页 |
4.4.2 亚表面损伤检测实验设计 | 第93-94页 |
4.4.3 不同磨料粒径FAP研抛后工件的亚表面损伤层厚度 | 第94-100页 |
4.5 小结 | 第100-102页 |
第五章 球面研抛垫的磨损计算模型和凸起排布优化 | 第102-117页 |
5.1 引言 | 第102页 |
5.2 球面研抛轨迹的数学建模 | 第102-106页 |
5.2.1 球面研抛的前提假设 | 第102-103页 |
5.2.2 球面研抛轨迹模型的数学推导 | 第103-106页 |
5.3 球面研抛垫的磨损研究 | 第106-109页 |
5.4 凸起优化排布球面研抛垫的设计与制备 | 第109-113页 |
5.4.1 凸起优化排布球面研抛垫的设计 | 第109-112页 |
5.4.2 凸起优化排布球面研抛垫的制备 | 第112-113页 |
5.5 凸起优化排布和均匀排布球面研抛垫的对比研磨实验研究 | 第113-115页 |
5.5.1 实验设计 | 第113-115页 |
5.5.2 不同研抛垫研磨后的面型误差对比 | 第115页 |
5.6 小结 | 第115-117页 |
第六章 镁铝尖晶石固结磨料研抛工艺研究 | 第117-132页 |
6.1 引言 | 第117页 |
6.2 镁铝尖晶石研抛工序的划分 | 第117页 |
6.3 镁铝尖晶石固结磨料粗研的工艺研究 | 第117-119页 |
6.4 镁铝尖晶石固结磨料精研的工艺研究 | 第119-121页 |
6.5 镁铝尖晶石固结磨料粗抛的工艺研究 | 第121-129页 |
6.5.1 研抛盘转速对镁铝尖晶石固结磨料粗抛的影响 | 第121-122页 |
6.5.2 研抛垫填料浓度对镁铝尖晶石固结磨料粗抛的影响 | 第122-125页 |
6.5.3 抛光液对镁铝尖晶石固结磨料粗抛的影响 | 第125-129页 |
6.6 镁铝尖晶石的固结磨料研磨、粗抛工艺和精抛加工 | 第129-130页 |
6.6.1 镁铝尖晶石固结磨料研磨和粗抛工序时间的选择 | 第129页 |
6.6.2 镁铝尖晶石的精抛加工 | 第129-130页 |
6.7 小结 | 第130-132页 |
第七章 结论与展望 | 第132-135页 |
7.1 全文总结 | 第132-133页 |
7.2 本文创新点 | 第133-134页 |
7.3 研究展望 | 第134-135页 |
参考文献 | 第135-145页 |
致谢 | 第145-146页 |
在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第146-147页 |