基于光谱共焦原理的三维表面形貌测量的光学系统研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 光谱共焦测量技术国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 系统总体方案 | 第17-28页 |
| 2.1 光谱共焦三维表面形貌测量原理 | 第17-19页 |
| 2.2 光谱共焦三维表面形貌测量系统性能分析 | 第19-24页 |
| 2.2.1 测量范围 | 第19页 |
| 2.2.2 分辨率 | 第19-22页 |
| 2.2.3 线性度 | 第22-23页 |
| 2.2.4 被测物允许的最大倾斜角度 | 第23-24页 |
| 2.3 光谱共焦三维表面形貌测量系统总体设计 | 第24-27页 |
| 2.3.1 光源选择 | 第24-25页 |
| 2.3.2 光纤选择 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 共焦光学系统分析及设计 | 第28-42页 |
| 3.1 色散物镜主要参数分析 | 第28-29页 |
| 3.2 色散物镜像差影响分析 | 第29-30页 |
| 3.3 色散物镜像差处理 | 第30-33页 |
| 3.3.1 球差 | 第30-31页 |
| 3.3.2 轴向色差 | 第31-33页 |
| 3.4 色散物镜设计 | 第33-41页 |
| 3.4.1 色散物镜参数 | 第33-34页 |
| 3.4.2 色散物镜设计及优化 | 第34-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 光谱仪分光系统设计 | 第42-49页 |
| 4.1 光谱仪的组成和工作原理 | 第42-43页 |
| 4.2 分光系统设计 | 第43-48页 |
| 4.2.1 组件选择 | 第43-44页 |
| 4.2.2 分光系统设计 | 第44-48页 |
| 4.3 本章小节 | 第48-49页 |
| 第五章 系统分析 | 第49-63页 |
| 5.1 系统分辨率 | 第49-51页 |
| 5.2 公差分析 | 第51-55页 |
| 5.2.1 公差分析参数和补偿参数 | 第51-52页 |
| 5.2.2 性能评价指标 | 第52页 |
| 5.2.3 优化分配结果 | 第52-55页 |
| 5.3 误差对系统分辨率的影响 | 第55-62页 |
| 5.3.1 表面不规则度对系统相对分辨率的影响 | 第55-58页 |
| 5.3.2 玻璃材料偏差对色散线性度的影响 | 第58-62页 |
| 5.4 本章小节 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63-64页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第64页 |
| 6.3 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读学位期间取得的学术成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
