| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 课题背景与选题意义 | 第11-12页 |
| 1.2 薄膜材料疲劳性能测试方法 | 第12-13页 |
| 1.3 TI-O薄膜制备方法 | 第13页 |
| 1.4 本论文研究内容及创新性 | 第13-15页 |
| 第2章 实验方法与实验装置 | 第15-22页 |
| 2.1 基体样品的制备 | 第15-16页 |
| 2.2 TI-O薄膜的制备 | 第16-17页 |
| 2.3 疲劳实验方法和原理 | 第17-20页 |
| 2.4 电化学极化实验 | 第20-21页 |
| 2.5 薄膜成分、结构、膜厚和形貌表征 | 第21-22页 |
| 第3章 TI-O薄膜的制备及表征 | 第22-26页 |
| 3.1 表面形貌 | 第23-24页 |
| 3.2 薄膜相结构和成分表征 | 第24-25页 |
| 3.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 TI-O薄膜疲劳性能研究 | 第26-32页 |
| 4.1 应力幅大小对薄膜疲劳行为的影响 | 第27-28页 |
| 4.2 薄膜厚度对弯曲疲劳行为的影响 | 第28-29页 |
| 4.3 表面预制裂纹对薄膜疲劳行为的影响 | 第29-31页 |
| 4.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第5章 TI-O薄膜的耐腐蚀性能研究 | 第32-36页 |
| 5.1 应力幅对TI-O薄膜耐腐蚀性能的影响 | 第32-34页 |
| 5.2 膜厚和表面形貌对TI-O薄膜耐腐蚀性能的影响 | 第34-35页 |
| 5.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 结论 | 第36-37页 |
| 致谢 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-43页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第43页 |