薄膜衍射成像系统设计与分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题来源及研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第10-20页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.3 国内外研究现状的简析 | 第19-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 衍射系统设计理论 | 第21-39页 |
| 2.1 衍射成像机理 | 第21-24页 |
| 2.2 衍射系统成像特性分析 | 第24-32页 |
| 2.2.1 衍射光学元件的光焦度 | 第24页 |
| 2.2.2 衍射光学元件的衍射效率建模 | 第24-27页 |
| 2.2.3 衍射光学元件的位相建模 | 第27-30页 |
| 2.2.4 衍射效率对MTF的影响分析 | 第30-32页 |
| 2.3 衍射光学元件的色差特性及校正 | 第32-38页 |
| 2.3.1 衍射光学元件的色差特性 | 第32-34页 |
| 2.3.2 衍射光学元件的色差校正 | 第34-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 薄膜衍射光学系统设计 | 第39-50页 |
| 3.1 设计要求 | 第39页 |
| 3.2 拼接薄膜衍射物镜设计 | 第39-43页 |
| 3.2.1 薄膜材料的选择 | 第39-40页 |
| 3.2.2 衍射物镜光焦度的确定 | 第40页 |
| 3.2.3 衍射物镜拼接设计 | 第40-43页 |
| 3.3 初始结构的确定 | 第43-46页 |
| 3.4 优化设计及设计结果 | 第46-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 成像质量评价与公差分析 | 第50-66页 |
| 4.1 成像质量评价 | 第50-54页 |
| 4.1.1 传统像质评价方法 | 第50-51页 |
| 4.1.2 加入衍射效率校正模型的MTF评价 | 第51-54页 |
| 4.2 衍射成像系统公差分析 | 第54-64页 |
| 4.2.1 衍射物镜加工公差 | 第55-57页 |
| 4.2.2 装配公差要求 | 第57-61页 |
| 4.2.3 衍射物镜拼接位置公差要求 | 第61-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
