低维硅纳米结构的制备及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 纳米材料简介 | 第8-9页 |
| 1.1.1 纳米材料概述 | 第8页 |
| 1.1.2 纳米材料的物理效应 | 第8-9页 |
| 1.2 低维硅纳米材料的制备和应用 | 第9-15页 |
| 1.2.1 低维硅纳米材料的制备 | 第9-13页 |
| 1.2.2 低维硅纳米材料的应用 | 第13-15页 |
| 1.3 硅量子点的光学性质 | 第15-18页 |
| 1.3.1 量子点的光学特性和发光原理 | 第15-17页 |
| 1.3.2 硅量子点的发光机制 | 第17-18页 |
| 1.4 选题意义和研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第18-19页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 硅量子点的制备及光学性质研究 | 第21-33页 |
| 2.1 表征方法 | 第22-25页 |
| 2.1.1 透射电子显微镜（TEM） | 第22页 |
| 2.1.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第22-23页 |
| 2.1.3 原子力显微镜（AFM） | 第23页 |
| 2.1.4 X射线衍射谱（XRD） | 第23-24页 |
| 2.1.5 X射线光电子能谱（XPS） | 第24页 |
| 2.1.6 光致发光光谱（PL） | 第24-25页 |
| 2.2 硅量子点的制备 | 第25-27页 |
| 2.2.1 实验药品与仪器 | 第26页 |
| 2.2.2 实验制备方法 | 第26-27页 |
| 2.3 硅量子点的结构表征与分析 | 第27-28页 |
| 2.3.1 TEM分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 XRD分析 | 第28页 |
| 2.4 硅量子点的光学性质分析 | 第28-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 纳米晶硅固体薄膜的制备及光学性质研究 | 第33-40页 |
| 3.1 纳米晶硅固体薄膜的制备 | 第33-34页 |
| 3.1.1 实验药品与仪器 | 第34页 |
| 3.1.2 实验制备方法 | 第34页 |
| 3.2 纳米晶硅固体薄膜的结构表征与分析 | 第34-36页 |
| 3.3 纳米晶硅固体薄膜的光学性质分析 | 第36-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 有序硅纳米柱的制备及湿敏性能研究 | 第40-49页 |
| 4.1 有序硅纳米柱的制备 | 第40-42页 |
| 4.1.1 实验药品与仪器 | 第40-41页 |
| 4.1.2 实验制备方法 | 第41-42页 |
| 4.2 有序硅纳米柱的结构表征与分析 | 第42-44页 |
| 4.2.1 SEM分析 | 第42-44页 |
| 4.2.2 AFM分析 | 第44页 |
| 4.3 有序硅纳米柱阵列的湿敏性能研究 | 第44-47页 |
| 4.3.1 有序硅纳米柱阵列湿敏传感器的制备 | 第45页 |
| 4.3.2 有序硅纳米柱阵列湿敏传感器的性能测量 | 第45-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-51页 |
| 5.1 总结 | 第49-50页 |
| 5.2 展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
