| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 硬质合金表面预处理工艺概述 | 第12-20页 |
| 1.1.1 硬质合金表面预处理的国内外研究现状及进展 | 第14-18页 |
| 1.1.2 本论文硬质合金表面预处理方案 | 第18-20页 |
| 1.2 论文的研究意义和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.2.1 论文的研究意义 | 第20页 |
| 1.2.2 论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 1.2.3 论文中所碰到的研究难点 | 第21-22页 |
| 第二章 过渡层与金刚石薄膜的制备及其表征方法 | 第22-35页 |
| 2.1 过渡层与金刚石薄膜的制备方法 | 第22-26页 |
| 2.1.1 磁控溅射法 | 第22-24页 |
| 2.1.2 热丝化学气相沉积 | 第24-26页 |
| 2.2 硬质合金表面金刚石薄膜的制备 | 第26-29页 |
| 2.2.1 硬质合金基底预处理 | 第26-28页 |
| 2.2.2 过渡层沉积 | 第28页 |
| 2.2.3 超声植晶 | 第28页 |
| 2.2.4 金刚石薄膜沉积 | 第28-29页 |
| 2.3 过渡层与金刚石薄膜的表征方法 | 第29-35页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) & 能谱仪(EDS) | 第30页 |
| 2.3.3 激光拉曼(Raman) | 第30-32页 |
| 2.3.4 原位纳米力学测试系统 | 第32-33页 |
| 2.3.5 维氏硬度测试(维氏硬度仪) | 第33页 |
| 2.3.6 摩擦磨损测试(高温摩擦磨损试验机) | 第33-35页 |
| 第三章 基底相、金刚石和过渡层薄膜结构与形貌研究 | 第35-49页 |
| 3.1 抛光后硬质合金基底XRD & SEM分析 | 第35页 |
| 3.2 酸洗后衬底SEM&EDX分析 | 第35-36页 |
| 3.3 过渡层薄膜掠射角XRD&SEM分析 | 第36-40页 |
| 3.4 金刚石薄膜掠射角XRD & SEM分析 | 第40-44页 |
| 3.5 金刚石薄膜Raman分析 | 第44-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 基底相、过渡层与金刚石薄膜力学性能的研究 | 第49-81页 |
| 4.1 基底相、过渡层与金刚石薄膜的原位纳米力学测试 | 第49-52页 |
| 4.2 金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第52-66页 |
| 4.2.1 未施加过渡层金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第52-54页 |
| 4.2.2 TiN过渡层法所制备金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第54-57页 |
| 4.2.3 TiC过渡层法所制备金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第57-60页 |
| 4.2.4 CrN过渡层法所制备金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第60-64页 |
| 4.2.5 SiN过渡层法所制备金刚石薄膜维氏硬度测试 | 第64-66页 |
| 4.3 优化条件下金刚石薄膜常温抗摩擦磨损性能研究 | 第66-75页 |
| 4.3.1 金刚石薄膜样品TiN10800 常温摩擦磨损测试 | 第67-69页 |
| 4.3.2 金刚石薄膜样品TiC-12.5-800 常温摩擦磨损测试 | 第69-71页 |
| 4.3.3 金刚石薄膜样品CrN10800 常温摩擦磨损测试 | 第71-73页 |
| 4.3.4 金刚石薄膜样品SiN10800 常温摩擦磨损测试 | 第73-75页 |
| 4.4 优化条件下刀具的制备与表征 | 第75-79页 |
| 4.4.1 优化条件下硬质合金刀具表面金刚石薄膜的制备 | 第76页 |
| 4.4.2 硬质合金刀具表面金刚石薄膜的的结构及形貌研究 | 第76-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 第五章 结论与展望 | 第81-83页 |
| 5.1 结论 | 第81-82页 |
| 5.2 展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表论文/申请专利 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
