| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 射频板条 CO_2激光器非稳波导腔的结构组成 | 第9-10页 |
| 1.2 非稳波导腔光束特性 | 第10页 |
| 1.3 非稳波导腔腔镜热畸变问题 | 第10-11页 |
| 1.4 本课题的目的、意义和研究内容 | 第11-13页 |
| 2 射频板条 CO_2激光器光束整形系统 | 第13-21页 |
| 2.1 射频板条 CO_2激光器光束特性 | 第13-14页 |
| 2.2 射频板条 CO_2激光器光束整形系统的结构原理 | 第14-16页 |
| 2.3 射频板条 CO_2激光器整形光路偏移补偿 | 第16-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 整形光路偏移补偿系统整体设计 | 第21-31页 |
| 3.1 整形光路偏移补偿系统 | 第21-23页 |
| 3.2 转折镜精密光路调节装置 | 第23-25页 |
| 3.3 系统调节过程 | 第25-27页 |
| 3.4 调节系统参数计算 | 第27-28页 |
| 3.5 微位移定位调节驱动器选型 | 第28-30页 |
| 3.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 4 整形光路偏移补偿系统电路设计 | 第31-49页 |
| 4.1 PA 100/T 14 压电陶瓷定位器电路设计 | 第31-42页 |
| 4.2 系统控制信号数学模型研究和硬件设计 | 第42-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 外光路补偿调节系统的软件设计与系统实验 | 第49-56页 |
| 5.1 人机界面设计 | 第49-51页 |
| 5.2 PLC 程序设计 | 第51-52页 |
| 5.3 系统实验 | 第52-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 1 硕士期间参与的科研工作 | 第63页 |
