微幅角振动幅相激光干涉测量系统的研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 角振动传感器及其校准 | 第11-13页 |
| 1.1.1 角振动传感器的概念 | 第11页 |
| 1.1.2 角振动传感器的校准 | 第11-12页 |
| 1.1.3 角振动校准装置 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外角振动校准及激光测量系统的研究现状 | 第13-20页 |
| 1.2.1 国内外角振动校准装置的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.2 国内外角振动激光测量的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.3 国内外研究现状评述 | 第19-20页 |
| 1.3 论文研究目的及内容 | 第20-21页 |
| 1.3.1 论文研究目的 | 第20页 |
| 1.3.2 论文研究内容 | 第20-21页 |
| 2 微幅角振动幅相激光干涉测量系统的总体设计 | 第21-36页 |
| 2.1 微幅角振动幅相激光干涉测量原理 | 第21-31页 |
| 2.1.1 线位移幅相激光干涉法测量原理 | 第21-22页 |
| 2.1.2 微幅角振动激光干涉法测量原理 | 第22-25页 |
| 2.1.3 激光干涉信号的分析 | 第25-27页 |
| 2.1.4 弦逼近法测量原理 | 第27-31页 |
| 2.2 微幅角振动幅相激光干涉测量系统结构 | 第31-33页 |
| 2.2.1 总体结构 | 第31-32页 |
| 2.2.2 系统硬件组成 | 第32-33页 |
| 2.3 微幅角振动幅相激光干涉测量系统的设计要素 | 第33-35页 |
| 2.3.1 激光干涉仪设计要素 | 第34页 |
| 2.3.2 上位机软件设计要素 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 微幅角振动幅相测量激光干涉仪的设计 | 第36-50页 |
| 3.1 光路设计 | 第36-43页 |
| 3.1.1 光路布局 | 第36-41页 |
| 3.1.2 光学元件安装设计 | 第41-43页 |
| 3.2 光电转换硬件电路设计 | 第43-49页 |
| 3.2.1 光电转换基本方法及原理 | 第43-45页 |
| 3.2.2 电源电路设计 | 第45-48页 |
| 3.2.3 信号放大电路设计 | 第48-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 微幅角振动幅相激光干涉测量系统软件的设计 | 第50-60页 |
| 4.1 软件需求分析 | 第50页 |
| 4.2 软件总体结构设计 | 第50-52页 |
| 4.3 软件模块的设计 | 第52-56页 |
| 4.3.1 硬件控制模块的设计 | 第52-53页 |
| 4.3.2 数据处理模块的设计 | 第53-55页 |
| 4.3.3 校准模块的设计 | 第55-56页 |
| 4.4 正弦逼近法校准模块测试分析 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 5 微幅角振动幅相激光干涉测量系统的实验研究 | 第60-76页 |
| 5.1 传感器幅频特性的实验研究 | 第60-69页 |
| 5.1.1 角加速度传感器幅频特性实验研究 | 第60-67页 |
| 5.1.2 圆光栅位移传感器幅频特性实验研究 | 第67-69页 |
| 5.2 传感器相频特性的实验研究 | 第69-72页 |
| 5.2.1 角加速度传感器相频特性的实验研究 | 第69-71页 |
| 5.2.2 圆光栅位移传感器相频特性的实验研究 | 第71-72页 |
| 5.3 激光微幅角振动测量不确定度分析 | 第72-75页 |
| 5.3.1 合成不确定度概述 | 第72-73页 |
| 5.3.2 激光微幅角振动测量幅值不确定度 | 第73-74页 |
| 5.3.3 激光微幅角振动测量相位不确定度 | 第74-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 6 结论与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 结论 | 第76-77页 |
| 6.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
| 附录 照片资料 | 第81页 |
