等离子体浓度准光腔测试技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 本文研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 等离子体及其诊断 | 第12-32页 |
| 2.1 等离子体基本参数 | 第12-19页 |
| 2.1.1 认知等离子体 | 第12-13页 |
| 2.1.2 基本参数 | 第13-19页 |
| 2.2 等离子体诊断方法 | 第19-30页 |
| 2.2.1 接触式诊断方法 | 第19-24页 |
| 2.2.2 非接触式诊断方法 | 第24-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 准光腔诊断 | 第32-52页 |
| 3.1 准光腔基本参量 | 第32-44页 |
| 3.1.1 曲率因子 | 第33页 |
| 3.1.2 菲涅耳数 | 第33-34页 |
| 3.1.3 场分布 | 第34-42页 |
| 3.1.4 束腰半径 | 第42页 |
| 3.1.5 谐振频率 | 第42-43页 |
| 3.1.6 品质因数 | 第43-44页 |
| 3.1.7 耦合系数 | 第44页 |
| 3.2 准光腔诊断原理 | 第44-51页 |
| 3.2.1 微扰理论 | 第44-47页 |
| 3.2.2 腔诊断原理 | 第47-51页 |
| 3.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 测试系统 | 第52-64页 |
| 4.1 准光腔设计 | 第52-56页 |
| 4.1.1 球面镜曲率半径 | 第52-53页 |
| 4.1.2 谐振腔腔长 | 第53-55页 |
| 4.1.3 球面镜口径 | 第55页 |
| 4.1.4 准光腔的耦合 | 第55-56页 |
| 4.2 辉光放电装置 | 第56-58页 |
| 4.2.1 辉光放电 | 第56-57页 |
| 4.2.2 实验辉光放电装置 | 第57-58页 |
| 4.3 朗缪尔探针 | 第58-60页 |
| 4.4 测试软件 | 第60-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 实验及分析 | 第64-75页 |
| 5.1 实验测试 | 第64-74页 |
| 5.1.1 典型曲线 | 第64-66页 |
| 5.1.2 调试准光腔 | 第66-68页 |
| 5.1.3 调试朗缪尔探针 | 第68-69页 |
| 5.1.4 联合诊断 | 第69-71页 |
| 5.1.5 准光腔系统稳定性验证 | 第71-74页 |
| 5.2 误差分析 | 第74页 |
| 5.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
