三维椭圆振动抛光装置的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国内抛光研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国外抛光研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.3 振动装置研究现状 | 第13页 |
| 1.3 本文的研究目的和内容 | 第13-14页 |
| 1.4 本文组织结构 | 第14-15页 |
| 第二章 三维椭圆振动抛光的原理及轨迹研究 | 第15-20页 |
| 2.1 三维椭圆振动抛光的原理 | 第15-16页 |
| 2.2 三维椭圆振动抛光的轨迹研究 | 第16-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 第三章 三维EVP装置的设计 | 第20-35页 |
| 3.1 三维EVP装置的结构设计 | 第20-22页 |
| 3.1.1 柔性铰链结构设计 | 第20-22页 |
| 3.1.2 振动机构的总体设计 | 第22页 |
| 3.2 柔性铰链机构的静力学分析 | 第22-32页 |
| 3.2.1 U-2C单元静力学分析 | 第25-27页 |
| 3.2.2 U-1C单元静力学分析 | 第27-28页 |
| 3.2.3 有限元仿真 | 第28-32页 |
| 3.3 柔性铰链机构的动力学分析 | 第32-33页 |
| 3.4 振动装置组成与安装 | 第33-34页 |
| 3.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 三维椭圆振动抛光实验 | 第35-47页 |
| 4.1 实验平台的搭建 | 第35-36页 |
| 4.2 驱动与传感装置介绍 | 第36-38页 |
| 4.2.1 驱动器及其工作特性 | 第36-37页 |
| 4.2.2 传感器及其工作特性 | 第37-38页 |
| 4.3 实验室环境检测 | 第38-39页 |
| 4.4 三维椭圆振动装置的解耦性能测试 | 第39-40页 |
| 4.4.1 实验方案 | 第39页 |
| 4.4.2 实验结果 | 第39-40页 |
| 4.5 三维椭圆振动装置的固有频率测试 | 第40-41页 |
| 4.5.1 实验方案 | 第40页 |
| 4.5.2 实验结果 | 第40-41页 |
| 4.6 三维椭圆振动装置的信号响应测试 | 第41-42页 |
| 4.6.1 实验方案 | 第41页 |
| 4.6.2 实验结果 | 第41-42页 |
| 4.7 三维抛光模拟实验 | 第42-43页 |
| 4.7.1 实验方案 | 第43页 |
| 4.7.2 实验结果 | 第43页 |
| 4.8 三维椭圆振动抛光实验 | 第43-46页 |
| 4.8.1 实验系统组成 | 第43-44页 |
| 4.8.2 实验材料的选择 | 第44-45页 |
| 4.8.3 实验方案 | 第45页 |
| 4.8.4 实验结果与分析 | 第45-46页 |
| 4.9 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 全文总结和展望 | 第47-49页 |
| 5.1 全文总结 | 第47页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
