| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 SiC材料 | 第11-13页 |
| 1.1.1 SiC的结构特点 | 第11页 |
| 1.1.2 SiC的理化性质 | 第11-13页 |
| 1.2 SiC空心微球在激光惯性约束聚变中的应用 | 第13-15页 |
| 1.3 SiC空心微球常用的制备方法 | 第15-17页 |
| 1.3.1 干凝胶法 | 第15-16页 |
| 1.3.2 溅射法 | 第16-17页 |
| 1.3.3 PECVD-高温热解法 | 第17页 |
| 1.4 本课题的研究意义及研究内容 | 第17-19页 |
| 2 SiC空心微球的制备与表征方法 | 第19-26页 |
| 2.1 SiC空心微球的制备 | 第19-21页 |
| 2.1.1 PECVD-高温热解法的基本原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第20-21页 |
| 2.1.3 样品制备操作过程 | 第21页 |
| 2.2 SiC空心微球的表征方法 | 第21-26页 |
| 2.2.1 X射线光电子能谱(XPS) | 第21-22页 |
| 2.2.2 X射线衍射仪(XRD) | 第22页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第22页 |
| 2.2.4 原子力显微镜(AFM) | 第22-23页 |
| 2.2.5 白光干涉仪(WLI) | 第23页 |
| 2.2.6 热重及微商热重分析(TG-DTG) | 第23-24页 |
| 2.2.7 X射线照相机 | 第24页 |
| 2.2.8 VMR显微系统 | 第24-26页 |
| 3 TMS流量对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第26-38页 |
| 3.1 样品制备 | 第26-27页 |
| 3.2 SiC空心微球样品表征 | 第27页 |
| 3.3 TMS流量对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第27-36页 |
| 3.3.1 SiC空心微球的成分及结构研究 | 第27-31页 |
| 3.3.2 SiC空心微球的结晶性研究 | 第31页 |
| 3.3.3 SiC空心微球的表面形貌及粗糙度研究 | 第31-34页 |
| 3.3.4 SiC空心微球的球形度及壁厚均匀性研究 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 工作压强对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第38-46页 |
| 4.1 样品制备 | 第38-39页 |
| 4.2 SiC空心微球样品表征 | 第39页 |
| 4.3 工作压强对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第39-45页 |
| 4.3.1 SiC空心微球的成分及结构研究 | 第39-41页 |
| 4.3.2 SiC空心微球的表面形貌及粗糙度研究 | 第41-44页 |
| 4.3.3 SiC空心微球的球形度及壁厚均匀性研究 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 热处理过程中温度对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第46-54页 |
| 5.1 样品制备 | 第46页 |
| 5.2 SiC空心微球样品表征 | 第46-47页 |
| 5.3 温度对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第47-53页 |
| 5.3.1 Si-GDP的TG-DTG分析 | 第47-48页 |
| 5.3.2 SiC空心微球的表面形貌及粗糙度研究 | 第48-51页 |
| 5.3.3 SiC空心微球的直径及壁厚收缩率研究 | 第51-52页 |
| 5.3.4 SiC空心微球的密度研究 | 第52-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 热处理过程中保温时间对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第54-61页 |
| 6.1 样品制备 | 第54-55页 |
| 6.2 SiC空心微球样品表征 | 第55页 |
| 6.3 保温时间对SiC空心微球结构及性能的影响 | 第55-60页 |
| 6.3.1 SiC空心微球的成分及结构研究 | 第55-57页 |
| 6.3.2 SiC空心微球的表面形貌及粗糙度研究 | 第57-59页 |
| 6.3.3 SiC空心微球的密度研究 | 第59-60页 |
| 6.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
