| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 超级电容器的发展历史及研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 超级电容器的发展历史 | 第11-12页 |
| 1.2.2 平面超级电容器的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 基于石墨烯电极的平面微型超级电容器的研究进展 | 第13-14页 |
| 1.3 石墨烯的制备方法 | 第14-18页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 平面微型超级电容器实验基础 | 第19-30页 |
| 2.1 实验材料及仪器 | 第19-22页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第19页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第19-22页 |
| 2.2 CVD生长石墨烯过程 | 第22-23页 |
| 2.3 实验原理 | 第23-25页 |
| 2.3.1 CVD生长石墨烯原理 | 第23-24页 |
| 2.3.2 平面微型超级电容器离子传输机制 | 第24-25页 |
| 2.4 石墨烯的表征 | 第25-29页 |
| 2.4.1 光学显微镜表征 | 第26页 |
| 2.4.2 拉曼光谱表征 | 第26-28页 |
| 2.4.3 原子力显微镜表征 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 平面微型超级电容器的设计与加工 | 第30-42页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 掩膜版的设计及加工 | 第30-36页 |
| 3.3 平面微型超级电容器制备工艺 | 第36-41页 |
| 3.3.1 光刻 | 第36-37页 |
| 3.3.2 磁控溅射集电极 | 第37-38页 |
| 3.3.3 凝胶的制备及滴涂 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 石墨烯电极的制备 | 第42-57页 |
| 4.1 引言 | 第42-43页 |
| 4.2 铜基底预处理 | 第43-44页 |
| 4.2.1 退火前预处理 | 第43-44页 |
| 4.2.2 退火处理 | 第44页 |
| 4.3 石墨烯的制备 | 第44-45页 |
| 4.4 石墨烯的转移 | 第45-46页 |
| 4.5 石墨烯的表征 | 第46-55页 |
| 4.5.1 拉曼光谱表征 | 第46-50页 |
| 4.5.2 原子力显微镜表征 | 第50-51页 |
| 4.5.3 导电性表征 | 第51-54页 |
| 4.5.4 石墨烯膜透光性表征 | 第54-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |