| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 电容式应变计的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 电容式薄膜应变计材料的选择 | 第12-16页 |
| 1.3.1 BST材料简介 | 第12-14页 |
| 1.3.2 BST材料的挠曲电性能 | 第14-16页 |
| 1.4 选题依据及研究意义 | 第16-17页 |
| 1.5 研究方案 | 第17-18页 |
| 第二章 电容式薄膜应变计的制备工艺 | 第18-30页 |
| 2.1 电容式薄膜应变计结构的设计与图形化工艺的研究 | 第18-23页 |
| 2.1.1 电容式薄膜应变计结构的设计 | 第18-20页 |
| 2.1.2 电容式薄膜应变计图形化工艺的研究 | 第20-23页 |
| 2.2 电容式薄膜应变计PdCr电极的制备 | 第23-24页 |
| 2.3 电容式薄膜应变计应变敏感层BST薄膜的制备 | 第24-27页 |
| 2.4 电容式薄膜应变计薄膜性能的测试方法 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 电容式薄膜应变计的薄膜性能与介电性能的研究 | 第30-43页 |
| 3.1 电容式薄膜应变计的薄膜性能的研究 | 第30-33页 |
| 3.2 电容式薄膜应变计频率特性的的研究 | 第33-38页 |
| 3.3 电容式薄膜应变计的电容温度系数（TCC）的测试 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 电容式薄膜应变计应变敏感性能的研究 | 第43-56页 |
| 4.1 电容式薄膜应变计应变的测试方法 | 第43-48页 |
| 4.2 电容式薄膜应变计的应变测试研究 | 第48-54页 |
| 4.2.1 悬臂梁结构的应变测试分析 | 第48-52页 |
| 4.2.2 拉伸结构应变的测试分析 | 第52-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 结论 | 第56-57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第63-64页 |
