| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 纳机电系统概述 | 第8-9页 |
| 1.3 石墨烯材料概述 | 第9-10页 |
| 1.4 石墨烯压力传感器与谐振器的相关研究 | 第10-14页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 石墨烯薄膜的纳米力学与压阻性质研究 | 第15-27页 |
| 2.1 石墨烯薄膜的纳米力学性质研究 | 第15-23页 |
| 2.2 石墨烯薄膜的压阻性质研究 | 第23-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-27页 |
| 3 石墨烯谐振器及其应用研究 | 第27-53页 |
| 3.1 石墨烯薄膜振动性质的有限元分析 | 第27-30页 |
| 3.2 静电驱动两端固支石墨烯谐振器的机械与振动性质 | 第30-39页 |
| 3.3 石墨烯质量传感器 | 第39-47页 |
| 3.4 石墨烯谐振式压力传感器 | 第47-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 4 石墨烯压阻式压力传感器的制造 | 第53-61页 |
| 4.1 压力传感器的结构设计 | 第53-54页 |
| 4.2 压力传感器的制造 | 第54-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 全文总结 | 第61-62页 |
| 5.2 今后工作的建议和展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第69-70页 |