| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 气敏传感器的分类及相关工作原理 | 第10-13页 |
| 1.3 MOS传感器的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文的选题思路、主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 CO_2测试基片的制备及材料膜结构表征 | 第17-29页 |
| 2.1 CO_2测试基片的制备 | 第17-19页 |
| 2.2 CO_2气敏材料膜的表征 | 第19-27页 |
| 2.3 小结 | 第27-29页 |
| 3 RE-Sn O_2对CO_2气敏性能测试及分析 | 第29-35页 |
| 3.1 实验室气体测试平台及测试方法 | 第29-30页 |
| 3.2 最佳掺杂比例的确定 | 第30页 |
| 3.3 最佳工作温度的确定 | 第30-31页 |
| 3.4 最佳掺杂元素的确定 | 第31-32页 |
| 3.5 气敏机理 | 第32-34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 纳米气敏膜传感器阵列H_2监测系统研制 | 第35-43页 |
| 4.1 前言 | 第35页 |
| 4.2 H_2气敏材料膜的制备 | 第35-37页 |
| 4.3 器件封装 | 第37-38页 |
| 4.4 纳米气敏膜传感器阵列H_2监测系统硬件开发 | 第38-40页 |
| 4.5 纳米气敏膜传感器阵列H_2监测系统软件开发 | 第40-42页 |
| 4.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 纳米气敏膜传感器阵列H_2性能测试 | 第43-53页 |
| 5.1 配气流程 | 第43-44页 |
| 5.2 传感器阵列工作温度模式 | 第44-46页 |
| 5.3 传感器阵列稳定性 | 第46-50页 |
| 5.4 传感器阵列测试误差 | 第50-51页 |
| 5.5 本章小结 | 第51-53页 |
| 6 纳米气敏膜传感器阵列H_2气敏性能理论分析 | 第53-63页 |
| 6.1 H_2气敏材料膜的表征 | 第53-59页 |
| 6.2 信号漂移机制分析 | 第59-62页 |
| 6.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 7 全文总结与展望 | 第63-66页 |
| 7.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 7.2 无氧条件下测CO_2、H_2技术展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72页 |
