| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 概述 | 第11页 |
| 1.2 CIGS薄膜太阳能电池 | 第11-13页 |
| 1.2.1 CIGS薄膜太阳能电池的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 CIGS薄膜太阳能电池的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 磁控溅射法制备CIGS薄膜太阳能电池 | 第13-15页 |
| 1.3.1 磁控溅射法的基本原理 | 第13-14页 |
| 1.3.2 磁溅射法制备CIGS薄膜电池的进展 | 第14-15页 |
| 1.4 CIGS薄膜的重要相关性能 | 第15-18页 |
| 1.4.1 CIGS薄膜的晶体结构 | 第15页 |
| 1.4.2 CIGS薄膜的元素成分 | 第15-16页 |
| 1.4.3 CIGS薄膜的光学性能 | 第16-17页 |
| 1.4.4 常见的薄膜晶界钝化方式 | 第17-18页 |
| 1.5 目前存在的主要问题 | 第18-19页 |
| 1.6 论文的选题依据、研究目的及主要内容 | 第19-23页 |
| 1.6.1 选题依据 | 第19页 |
| 1.6.2 研究目的及意义 | 第19-20页 |
| 1.6.3 主要内容 | 第20-23页 |
| 第二章 基于溅射靶功率对CIGS薄膜太阳能电池的性能研究 | 第23-37页 |
| 2.1 前言 | 第23-24页 |
| 2.2 实验部分 | 第24-28页 |
| 2.2.1 实验仪器和试剂 | 第24-25页 |
| 2.2.2 实验过程 | 第25-28页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第28-34页 |
| 2.3.1 溅射功率对CuInGa预制层薄膜微观形貌和元素组分的影响 | 第28-29页 |
| 2.3.2 不同靶功率溅射预制层对硒化后薄膜微观结构和组分的影响 | 第29-31页 |
| 2.3.3 不同靶功率溅射预制层对硒化后薄膜各项性能的影响 | 第31-33页 |
| 2.3.4 不同靶功率溅射预制层对CIGS薄膜太阳能电池性能的影响 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-37页 |
| 第三章 基于硒化工艺对界面优化及影响器件性能的研究 | 第37-49页 |
| 3.1 前言 | 第37-39页 |
| 3.2 实验部分 | 第39-40页 |
| 3.2.1 利用分层硒化法制备CIGS吸收层 | 第39页 |
| 3.2.2 调节硒化温度制备结晶性良好的CIGS薄膜 | 第39页 |
| 3.2.3 构筑CIGS薄膜太阳能电池器件 | 第39-40页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第40-46页 |
| 3.3.1 分层硒化对硒化过程中CIGS薄膜微观结构的影响 | 第40-42页 |
| 3.3.2 退火温度对CIGS薄膜微观形貌的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.3 退火温度对CIGS薄膜光学性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.4 退火温度对CIGS薄膜太阳能电池器件性能的影响 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-49页 |
| 第四章 基于氩气流量对界面优化及影响器件性能的研究 | 第49-59页 |
| 4.1 前言 | 第49-50页 |
| 4.2 实验部分 | 第50页 |
| 4.2.1 调控氩气流量制备铜铟镓(CuInGa)预制层 | 第50页 |
| 4.2.2 CIGS薄膜太阳能电池器件的构筑 | 第50页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第50-57页 |
| 4.3.1 氩气流量对CuInGa金属预制层微观形貌和元素组分的影响 | 第50-52页 |
| 4.3.2 不同氩气流量溅射预制层对硒化后薄膜微观结构和组分影 | 第52-53页 |
| 4.3.3 不同氩气流量溅射预制层对硒化后薄膜光学性能的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.4 不同氩气流量对CIGS薄膜太阳能电池器件性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 总结与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 硕士期间发表和已完成的论文与工作 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
