TiZrN硬质膜组元配比对组织与性能的影响规律研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 氮化物硬质膜简介 | 第10-17页 |
| 1.1.1 二元氮化物硬质膜 | 第10-14页 |
| 1.1.2 三元氮化物硬质膜 | 第14-17页 |
| 1.2（Ti,Zr）N硬质膜的研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 本课题的研究目标和主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.3.1 本课题的研究目标 | 第20-21页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第22-28页 |
| 2.1 试验设备 | 第22-23页 |
| 2.2 试验材料 | 第23-24页 |
| 2.2.1 靶材和基体的选取 | 第23页 |
| 2.2.2 基体材料预处理 | 第23-24页 |
| 2.3 (TiZr)N膜的沉积方法及工艺制定 | 第24-26页 |
| 2.3.1 工艺参数对膜层的影响作用 | 第24-25页 |
| 2.3.2 (TiZr)N膜的沉积方法及工艺制定 | 第25-26页 |
| 2.4 (TiZr)N膜的组织、成分及相结构测试 | 第26页 |
| 2.4.1 膜层组织与成分的测试 | 第26页 |
| 2.4.2 膜层的相结构测试 | 第26页 |
| 2.5 膜层硬度、模量、结合力及抗热震性能测试 | 第26-28页 |
| 第3章 (TiZr)N膜层表面与断面分析 | 第28-42页 |
| 3.1 (TiZr)N膜表面成分分析 | 第28-30页 |
| 3.2 Zr含量对(TiZr)N膜表面形貌的影响 | 第30-33页 |
| 3.3 (TiZr)N膜表面液滴分析 | 第33-35页 |
| 3.4 (TiZr)N膜断面形貌 | 第35-38页 |
| 3.5 (TiZr)N膜断面成分分布 | 第38-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 (TiZr)N硬质膜的相结构 | 第42-53页 |
| 4.1 (TiZr)N膜的相结构检测结果及标定 | 第42-48页 |
| 4.2 (TiZr)N膜的晶格常数变化规律 | 第48-50页 |
| 4.3 (TiZr)N膜相结构及择优取向的再讨论 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 (TiZr)N膜的力学性能与热震性 | 第53-72页 |
| 5.1 (TiZr)N膜的硬度 | 第53-57页 |
| 5.2 (TiZr)N膜层的膜/基附着力与耐磨性 | 第57-63页 |
| 5.3 (TiZr)N膜的抗热震性能 | 第63-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第6章 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 在学研究成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
