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CVD法SiC纤维的制备及其微观结构分析

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第12-32页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 SiC纤维的研究进展第13-17页
        1.2.1 SiC的晶体结构及性能第13-15页
        1.2.2 连续SiC纤维的发展概况第15-17页
    1.3 化学气相沉积原理及应用第17-20页
        1.3.1 化学气相沉积原理第17-19页
        1.3.2 化学气相沉积技术的应用第19-20页
    1.4 CVD法SiC纤维的制备工艺第20-25页
        1.4.1 CVD SiC常用的加热方式第20-22页
        1.4.2 影响CVD SiC的工艺参数第22-25页
            1.4.2.1 沉积温度第22-23页
            1.4.2.2 反应气体组分及流量第23-25页
    1.5 拉曼光谱原理及应用第25-30页
        1.5.1 拉曼散射原理第25-27页
        1.5.2 拉曼光谱的应用第27-30页
            1.5.2.1 成分鉴别和相变研究中的应用第27-28页
            1.5.2.2 材料结构研究中的应用第28-29页
            1.5.2.3 微观力学研究中的应用第29-30页
    1.6 本文研究目的及主要内容第30-32页
第2章 实验方法第32-38页
    2.1 实验原料第32-34页
    2.2 纤维力学性能测试第34-35页
    2.3 SiC纤维表征方法第35-38页
第3章 CVD法SiC纤维的制备第38-50页
    3.1 引言第38页
    3.2 沉积装置第38-41页
        3.2.1 沉积装置的主体第38-39页
        3.2.2 沉积装置的其它部件第39-40页
        3.2.3 制备SiC纤维的工艺流程第40-41页
    3.3 制备工艺对纤维性能的影响第41-45页
        3.3.1 反应气体组分及流量第41-42页
        3.3.2 沉积功率第42-43页
        3.3.3 走丝速度第43-45页
    3.4 SiC纤维的Weibull模数分析第45-48页
    3.5 本章小结第48-50页
第4章 CVD法SiC纤维微观结构分析第50-72页
    4.1 SiC纤维横截面的结构组成第50-52页
    4.2 纤维断口形貌与力学性能第52-53页
    4.3 SiC纤维的断裂特征分析第53-56页
    4.4 SiC纤维的拉曼光谱分析第56-65页
        4.4.1 实验方法第56-57页
        4.4.2 结果与讨论第57-65页
            4.4.2.1 W芯边缘第58-59页
            4.4.2.2 SiC内部沉积层区域第59-61页
            4.4.2.3 SiC外部沉积层区域第61-63页
            4.4.2.4 表面碳涂层区域第63-65页
    4.5 不同性能纤维的Raman mapping第65-69页
        4.5.1 实验方法第65页
        4.5.2 结果与讨论第65-69页
            4.5.2.1 低性能纤维Raman mapping第66-67页
            4.5.2.2 中等性能纤维Raman mapping第67-68页
            4.5.2.3 高性能纤维Raman mapping第68-69页
    4.6 本章小结第69-72页
第5章 拉曼光谱研究SiC纤维残余应力第72-82页
    5.1 引言第72页
    5.2 残余应力与纤维性能第72-77页
        5.2.1 残余应力计算的理论基础第72-73页
        5.2.2 实验方法第73-74页
        5.2.3 结果与讨论第74-77页
    5.3 SiC纤维表面应力研究第77-81页
        5.3.1 实验方法第77页
        5.3.2 结果与讨论第77-81页
    5.4 本章小结第81-82页
第6章 结论第82-84页
参考文献第84-92页
致谢第92页

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