| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 选题的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 传统真空检漏技术的研究进展 | 第10-12页 |
| 1.3 TDLAS传感技术的研究进展及发展现状 | 第12-14页 |
| 1.4 应用TDLAS技术对真空电子器件检漏测量的可行性研究 | 第14-16页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 可调谐激光吸收光谱测量技术原理 | 第18-29页 |
| 2.1 分子吸收光谱学背景介绍 | 第18-23页 |
| 2.2 直接吸收测量法 | 第23页 |
| 2.3 调制光谱测量法 | 第23-24页 |
| 2.4 TDLAS的其它应用原理 | 第24-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 基于TDLAS的真空检漏系统仿真模型 | 第29-34页 |
| 3.1 仿真模型总体设计 | 第29-30页 |
| 3.2 光源模块仿真子模型 | 第30-31页 |
| 3.3 真空气室仿真子模型 | 第31-33页 |
| 3.4 谐波信号提取仿真子模型 | 第33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 基于TDLAS的真空检漏系统设计 | 第34-50页 |
| 4.1 系统整体结构 | 第34-35页 |
| 4.2 光源系统 | 第35-40页 |
| 4.3 真空密闭系统 | 第40-41页 |
| 4.4 模拟信号处理 | 第41-45页 |
| 4.5 采样系统 | 第45-46页 |
| 4.6 系统的软件设计 | 第46-49页 |
| 4.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 实验结果分析 | 第50-63页 |
| 5.1 实验流程 | 第50-51页 |
| 5.2 激光器调制测试 | 第51-53页 |
| 5.3 锁相放大电路参数调试 | 第53-54页 |
| 5.4 标准大气压下O_2吸收谐波波形的检测 | 第54-56页 |
| 5.5 真空度在线测量实验 | 第56-59页 |
| 5.6 实验结果分析及讨论 | 第59-62页 |
| 5.7 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 全文总结 | 第63页 |
| 6.2 工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第71页 |