| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 压电型位移放大机构的种类 | 第13-15页 |
| 1.2.1 柔性铰链式微位移放大机构 | 第13-14页 |
| 1.2.2 液力式微位移放大机构 | 第14-15页 |
| 1.3 液力式微位移放大机构的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3.1 液力静压放大 | 第15-18页 |
| 1.3.2 液压动态特性放大 | 第18-21页 |
| 1.4 本文研究意义及主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 软体驱动器的结构设计 | 第23-33页 |
| 2.1 软体驱动器的总体结构设计 | 第23-25页 |
| 2.1.1 传统压电式液力位移放大装置的结构及工作原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 软体驱动器的总体结构设计 | 第24-25页 |
| 2.2 软体驱动器的理想工作过程 | 第25页 |
| 2.3 压电振子 | 第25-29页 |
| 2.3.1 压电效应及压电材料 | 第25-27页 |
| 2.3.2 压电振子的组成 | 第27页 |
| 2.3.3 压电振子的驱动电源 | 第27页 |
| 2.3.4 压电振子的支撑方式 | 第27-28页 |
| 2.3.5 压电振子实验 | 第28-29页 |
| 2.4 软体隔膜 | 第29-31页 |
| 2.4.1 软体隔膜的理论研究 | 第29页 |
| 2.4.2 软体隔膜的选择 | 第29-31页 |
| 2.5 试验样机 | 第31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 位移放大机理 | 第33-41页 |
| 3.1 系统谐振引起的位移放大 | 第33-36页 |
| 3.1.1 试验装置与试验方法 | 第33-34页 |
| 3.1.2 位移放大能力的验证 | 第34页 |
| 3.1.3 系统谐振引起的位移放大 | 第34-36页 |
| 3.2 硅胶膜表面变形引起的位移放大 | 第36-40页 |
| 3.2.1 试验装置与试验方法 | 第36-37页 |
| 3.2.2 硅胶膜振动模态 | 第37-39页 |
| 3.2.3 硅胶膜表面变形引起的二次放大 | 第39-40页 |
| 3.3 软体驱动器位移放大机理 | 第40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 软体驱动器结构分析 | 第41-55页 |
| 4.1 压电振子机电耦合特性分析 | 第41-43页 |
| 4.2 圆形软体隔膜的理论模型 | 第43-47页 |
| 4.3 等效刚体理论 | 第47页 |
| 4.4 动力学模型的建立 | 第47-50页 |
| 4.5 动力学参数的获得 | 第50-54页 |
| 4.5.1 压电振子等效刚度的测量 | 第50页 |
| 4.5.2 硅胶膜等效刚度的测量 | 第50-52页 |
| 4.5.3 阻尼系数的测试方法 | 第52-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 实验及讨论 | 第55-73页 |
| 5.1 试验装置及测试方法 | 第55-56页 |
| 5.2 充水量的影响 | 第56-60页 |
| 5.3 硅胶膜厚度的影响 | 第60-64页 |
| 5.4 保证硅胶膜张紧程度相同时充水量的影响 | 第64-66页 |
| 5.5 保证充水量相同时硅胶膜张紧程度的影响 | 第66-70页 |
| 5.6 标定实验 | 第70-71页 |
| 5.7 共振点振型分析 | 第71-72页 |
| 5.8 本章小结 | 第72-73页 |
| 第6章 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 作者简介及攻读硕士期间学术成果 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |