| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第8-15页 |
| 1.1 超精密转台研究的目的与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 转台结构形式 | 第9-10页 |
| 1.2.1 常见转台分类 | 第9页 |
| 1.2.2 直驱式气浮转台特点 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外发展现状 | 第10-13页 |
| 1.3.1 国外转台研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.2 国内转台研究现状 | 第12页 |
| 1.3.3 转台技术发展趋势 | 第12-13页 |
| 1.4 课题来源以及本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.4.2 误差源分析 | 第13-14页 |
| 1.4.3 误差补偿研究 | 第14页 |
| 1.5 本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 气浮转台系统及其误差源分析 | 第15-29页 |
| 2.1 气浮转台系统构成及其工作特性 | 第15-16页 |
| 2.2 运动系统及其轴线误差分析 | 第16-21页 |
| 2.2.1 运动系统组成 | 第16-17页 |
| 2.2.2 运动系统轴线误差对转台造成的影响 | 第17-21页 |
| 2.3 圆光栅测角系统及其误差分析 | 第21-24页 |
| 2.3.1 圆光栅工作原理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 圆光栅测角系统工作特性及选型 | 第22-23页 |
| 2.3.3 运动系统轴系误差对测角系统的影响 | 第23-24页 |
| 2.4 力矩电机及其齿槽转矩 | 第24-27页 |
| 2.4.1 力矩电机 | 第24-25页 |
| 2.4.2 齿槽转矩 | 第25-27页 |
| 2.5 其它误差因素 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 运动系统轴系误差 | 第29-41页 |
| 3.1 气浮转台中常见的轴系误差形式 | 第29-30页 |
| 3.2 气浮转台外转子轴线与基准轴线间偏移误差 | 第30-34页 |
| 3.2.1 偏移误差解析 | 第30页 |
| 3.2.2 外转子径向位移影响气浮转台位置精度的解析 | 第30-32页 |
| 3.2.3 外转子径向位移对气浮转台位置精度影响的仿真分析 | 第32-34页 |
| 3.3 气浮转台外转子轴线相对基准轴线倾斜误差 | 第34-37页 |
| 3.3.1 倾斜误差解析 | 第34页 |
| 3.3.2 外转子倾斜对被测轴截面造成的圆度误差解析 | 第34-36页 |
| 3.3.3 外转子倾斜对被测轴截面造成的圆度误差仿真分析 | 第36-37页 |
| 3.4 气浮转台运动系统轴系误差引起的测角误差 | 第37-40页 |
| 3.4.1 圆光栅尺偏心引起的测角误差 | 第38-39页 |
| 3.4.2 圆光栅尺倾斜引起的测角误差 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 电机齿槽转矩 | 第41-55页 |
| 4.1 气浮转台力矩电机齿槽转矩的解析 | 第41-44页 |
| 4.1.1 齿槽转矩产生机理 | 第41-42页 |
| 4.1.2 齿槽转矩解析 | 第42-44页 |
| 4.2 气浮转台力矩电机齿槽转矩有限元分析 | 第44-50页 |
| 4.2.1 有限元仿真软件简介 | 第44页 |
| 4.2.2 气浮转台力矩电机Maxwell 2D仿真模型 | 第44-45页 |
| 4.2.3 气浮转台力矩电机齿槽转矩仿真分析 | 第45-46页 |
| 4.2.4 气浮转台力矩电机齿槽转矩测试 | 第46-50页 |
| 4.3 降低气浮转台力矩电机齿槽转矩的设计优化方法 | 第50-53页 |
| 4.3.1 极弧系数的优化 | 第50-52页 |
| 4.3.2 槽口宽度的优化 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 误差补偿 | 第55-71页 |
| 5.1 误差补偿原理 | 第55-56页 |
| 5.2 补偿系统 | 第56-60页 |
| 5.2.1 Soloist软件简介 | 第56-57页 |
| 5.2.2 补偿系统平台以及系统分辨率 | 第57-60页 |
| 5.3 测试系统 | 第60-62页 |
| 5.3.1 测试系统搭建 | 第60-61页 |
| 5.3.2 位置精度测量 | 第61-62页 |
| 5.4 位置精度补偿 | 第62-70页 |
| 5.4.1 数据分析与拟合补偿 | 第62-66页 |
| 5.4.2 补偿后位置精度分析 | 第66-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| 6.1 结论 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76-77页 |
