氮化硅集成光波导损耗特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 光波导与光纤的端面耦合损耗研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光波导的散射损耗研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 论文主要研究内容及创新点 | 第12-14页 |
| 第二章 氮化硅光波导的设计与制备 | 第14-37页 |
| 2.1 氮化硅单模光波导的设计 | 第14-24页 |
| 2.1.1 单模条件的计算 | 第14-16页 |
| 2.1.2 弯曲半径的计算 | 第16-19页 |
| 2.1.3 耦合间距与耦合长度的计算 | 第19-23页 |
| 2.1.4 掩膜版设计 | 第23-24页 |
| 2.2 氮化硅光波导的制备 | 第24-27页 |
| 2.3 氮化硅光波导的损耗测量 | 第27-35页 |
| 2.3.1 截断法测量氮化硅光波导损耗 | 第27-31页 |
| 2.3.2 谐振法测量氮化硅光波导损耗 | 第31-33页 |
| 2.3.3 CCD法测量氮化硅光波导损耗 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小节 | 第35-37页 |
| 第三章 氮化硅波导与光纤的端面耦合的研究 | 第37-43页 |
| 3.1 | 第37-39页 |
| 3.1.1 模场失配损耗 | 第37-38页 |
| 3.1.2 菲涅尔反射损耗 | 第38-39页 |
| 3.2 模斑转换器的设计与模拟 | 第39-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 改善氮化硅光波导侧壁粗糙度的初步实验 | 第43-53页 |
| 4.1 光波导侧壁散射损耗 | 第43-45页 |
| 4.2 激光热回流减小氮化硅波导侧壁粗糙度 | 第45-52页 |
| 4.2.1 热回流理论模型 | 第45-47页 |
| 4.2.2 二氧化碳激光热回流实验 | 第47-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 作者简介 | 第63页 |
